激光尺

激光尺可提供最高精度的线性位置反馈。雷尼绍凭借在机械计量应用和系统技术方面近25年的经验,在激光干涉测量领域占据主导地位。

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雷尼绍的HS10长距离激光尺自1994年上市以来就一直广泛应用于最长达60 m的长轴测量。2001年引入了RLE激光尺系列,使得激光尺应用范围得以进一步扩展,它配有取得专利的创新“远程”激光源和光纤连接的激光发射头。该系统可定期更新并新增了可选激光源、干涉镜配置和实时对正交方波信号补偿以及配装各种信号接口。

RLE系统已被全球众多半导体加工机械制造商使用,同时也应用于其他各种短距离(小于4 m)测量,在以前无法实现的测量应用中,RLE的特性和功能体现了干涉测量的优势。

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