RGH25F UHV真空兼容直线光栅

RGH25F UHV直线光栅读数头与雷尼绍的RGS20-S钢带栅尺兼容，在超高真空条件下提供保真度极高的直接位置反馈。RGH25F UHV广泛应用在对性能和可靠性要求极高的半导体和科学设备上，经过多年现场使用已经证实了其良好的性能。

与REF接口兼容

为了进一步提高性能和长期可靠性，由符合RoHS标准的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有动态信号调节功能和5 nm的分辨率。

RGH25F UHV读数头由精选的低除气速率材料和粘合剂在指定的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。

真空兼容型钢带栅尺

RGS20-S钢带栅尺提供具有高重复性的测量标准。该标准适用于半导体和科学产业中使用的最常见的工程材料，包括Invar®、Zerodur®、不锈钢和铝。当使用推荐的环氧树脂将栅尺的末端锁入基体时，栅尺适应基体的热膨胀系数，从而表现出如同基体本身被刻划栅线的特性。

残留气体分析 (RGA) 测试结果

通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。

RGH20F读数头的RGA光谱结果

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RGS直线镀金钢带栅尺的RGA光谱结果

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Invar®是Arcelor Mittal的注册商标
Zerodur®是Schott AG的注册商标