TONiC™直线光栅选项有四种直线光栅可供选择…… RGSZ是RGS镀金钢带栅尺的最新形式,现在上面配有用户可选的IN-TRAC™参考零位(基准位置)。 独特的是,这些结构直接嵌入在光栅增量刻线中,只需按一下按钮,就可实现电子自动定相。 此外,IN-TRAC具有双向、可重复功能,扭摆偏移公差大,确保了整个速度 (10 m/s) 和温度 (70 °C) 范围内相位保持一致。 RELM因钢栅尺的膨胀系数为~0.6 µm/m/°C,有各种长度可供选择。 坚固的因钢栅尺比传统玻璃栅尺具有更小的截面尺寸,但操作和安装更为简便,没有破损的风险。RELM系统精度达±1 µm,分辨率达5 nm,能够满足苛刻的精密运动的需求。 RSLM不锈钢栅尺的性能可与小栅距玻璃光栅相媲美,长度范围却远超后者,可达10 m。RSLM的整体精度(包括斜率误差和线性误差)在5 m的情况下可达±4 µm — 实现业内领先水平! RSLM可以方便的成卷存放,一旦展开,就可以像栅尺一样使用。 与具有±30 nm超低周期误差(电子细分误差 - SDE)的栅尺结合在一起,RSLM是测量精度要求严格的长行程应用场合的理想解决方案。 FASTRACK是一款创新的光栅尺系统,由由两根体积轻巧但很坚固的导轨组成。导轨牢牢固定住Renishaw轻薄小巧的新型光 栅尺,允许其在自身膨胀系数范围内任意膨胀,滞后几乎为零。 新型光栅尺精度±5 µm/m,有多种长度可供选择,最长可达10米,非常适合需要分段运输到安装现场的大型机器或者栅尺容易受到损坏的应用场合。 技术红外发光二极管把光发射到20 µm栅距的平面反射栅尺上。 栅尺的刻划周期均匀而且比较好非常重要,但不要求栅尺为优质的衍射光栅(狭缝)。 与RG2和RG4读数头一样,TONiC读数头的光学装置采用对很多栅尺周期进行均分的技术,有效滤掉了与非周期性的栅尺波纹,如灰尘。 在检测面留下一个纯正的正弦条纹区域。 这里使用的是一个多条纹结构,它非常细,能够产生4个对称定相信号形式的光电流。 这些结合在一起,用于产生具有高光谱纯度和低偏置值的正弦和余弦输出,同时保持500 kHz以上的带宽。 通过动态调节频道增益、偏置量以及对TONiC™读数头内LED指示灯源的控制,这些信号的平衡和强度控制进一步得到增强。 结果,固有周期误差(电子细分误差 - SDE)为±30 nm,相当于0.15%的光栅尺刻划周期。 在TONiC Ti接口内通过CORDIC算法细分。 IN-TRAC™参考零位直接被刻在增量光栅尺上。 此信号被光学滤波系统滤除,但被读数头内一个分离的光电检测器检测到。 通过光学感应和门控电路产生参考零位信号,在所有的速度下都具有双向可重复性。 与模拟通道有关的标定相位一安装即通过读数头内的逻辑自动执行,并提供全面的系统监控和安装帮助。 样本
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