TONiC™ UHV真空兼容直线光栅

TONiC UHV直线光栅读数头与雷尼绍带有IN-TRAC™光学零位的高精度直线栅尺兼容，包括RELM Invar®和RSLM不锈钢因钢栅尺。这些光栅系统在超高真空条件下提供保真度非常高的位置反馈。TONiC UHV直线光栅在2010年第二季度上市，用于高性能和可靠性要求极高的半导体和科学应用。

高性能TONiC增量式读数头

所有TONiC读数头均使用最新一代雷尼绍光学滤波系统，经过优化，噪声超低。包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏移量控制 (AOC) 在内的动态信号调整进一步增强了先进的光学系统设计。因此，输出信号具有无与伦比的信号纯度，细分误差 (SDE) 为±30 nm，噪声（抖动）达0.51 nm RMS，分辨率达1 nm。

所有TONiC栅尺均包括直接嵌入到增益通道中的独特IN-TRAC光学零位，只需单击按钮即可以方便地实现自动电子调相 — 因此，这一功能也可远程执行。IN-TRAC光学零位还具有在所有速度和整个工作温度范围内保持相位一致的优点。

高精度真空兼容型栅尺

RELM因钢栅尺在最长1 130 mm的距离内，热膨胀系数为“零”，总体精度可确保优于±1 µm。RSLM不锈钢栅尺集超高的精度与钢带栅尺的便利性于一体，有多种长度可供选择，最长可达10 mm，是测量精度要求严格的较长轴测量的理想解决方案。

TONiC UHV读数头由精选的低出气率材料和粘合剂在指定的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。

残留气体分析 (RGA) 测试结果

通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。

TONiC超高真空 (UHV) 读数头的RGA光谱结果

点击放大图片

临时测试结果：这是未安装电缆的TONiC UHV读数头的RGA光谱。该文档将在推出产品之前更新，以包含配有UHV兼容电缆的TONiC读数头的RGA光谱。

重要事项！TONiC接口应该置于UHV环境之外。

RSLM不锈钢直线栅尺的RGA光谱结果

点击放大图片

系统基础压力为3 x 10-10 mbar。
光谱主要显示了H20和CO、CO2和C。碳产物通常来自残留H20中的RGA和电离压力计中的热灯丝。
这是一个清晰的光谱。

Invar®是Arcelor Mittal公司的注册商标

下载

离线光栅选型工具