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超高真空 (UHV) 光栅

由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低，进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境。120°C烘焙温度。

非接触开放式设计提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零。具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1 nm。

UHV系列雷尼绍UHV光栅可用于低至10^-11托的真空压力之下。RGH25F UHV光栅系统配用RGS20-S钢带光栅尺，可用于线性和部分圆弧应用。RGH20F UHV读数头配用RESR圆光栅，可提供精密旋转反馈。2010年第二季度，全新推出TONiC™ UHV直线光栅和TONiC™ UHV圆光栅。

真空系列产品适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。

RGH25F UHV直线光栅		RGH20F UHV圆光栅		TONiC UHV直线光栅		TONiC UHV圆光栅

UHV读数头的特性与优点

请注意：RGH25U和RGH25 UHV读数头及RGB接口现已停产，并由RGH25F、RGH25F UHV和REF接口取代。

[1.8MB] 样本: 非接触光栅测量系统
Renishaw提供品种繁多的紧凑型光学式光栅及磁式编码器，能够满足工业自动化领域的不同需求。本产品样本详细介绍了多种高速直线光栅、高精度圆光栅、坚固耐用的磁旋转编码器以及一系列激光尺产品。

[299kB] Data sheet: RGH25F encoder system [English]
Renishaw’s RGH25F offers all the benefits of the market leading RG2 non-contact linear encoder systems; patented filtering optical scheme, high contamination tolerance and high speed.
[328kB] 规格手册：RGH25F UHV、RGH20F UHV [English]
[620kB] Data sheet: RGH20 encoder system [English]
The RGH20 is a compact readhead for use with Renishaw’s range of 20 μm RESR rotary encoders and RSLR high accuracy linear scale

[123kB] News article: Renishaw scales facilitate micro-machining research [English]
Special equipment has recently been installed at the University of Southampton by Ionoptika Ltd., for research into one of the most demanding of applications; micro-machining. Among the highly specialised suppliers involved is Renishaw, whose RG2 scale and RGH25 UHV readheads provide the crucial means of positioning for the nanometric movements required. People outside this discipline often find it hard to comprehend just how minute such work is – for example, Ionoptika’s full company logo can be etched 20 μm wide on a typical metallic screen mask.

如果您需要了解更多信息或者询价，或有其他要求，可以直接联系当地的雷尼绍办事处。