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光纤激光尺产品

RLU双轴激光装置RLU10激光装置

RLU10在任意一个小时内的激光稳频精度为±50 ppb,它是适合大部分非真空环境应用的经济实用的解决方案。

RLU双轴激光装置RLU20激光装置

适合要求最高测量精度的应用,例如真空环境应用。RLU20在任意一个小时内的激光稳频精度为±2 ppb。

0°RLD10发射头RLD10平面镜干涉仪

RLD10-PMI(平面镜干涉仪)是双光程系统,其配置适合需要平面镜的应用(例如XY平台应用)。 

RLD10角锥反射镜干涉仪RLD10角锥反射镜干涉仪

RLD10-RRI(角锥反射镜干涉仪)是单光程干涉仪,适合需要角锥反射镜的应用(例如更长距离或更高速度的应用)。

RLD10-X3-DI差分干涉仪和镜组RLD10差分干涉仪

RLD10 DI(差分干涉仪)是双光程干涉仪系统,可提供相对测量。非常适合真空室应用。

0°RLD10发射头RLD10无内置光学镜干涉仪

RLD10-XX(无内置光学镜干涉仪)发射头的设计不带内置干涉镜组。这允许发射头用于带有专业光学镜组的序列中,以实现线性、角度和直线度测量。 

RCU10补偿单元和传感器RCU10实时正交补偿系统

采用环境传感器监控机器周围环境,并提供位置反馈信号的实时补偿。

RPI20并行接口RPI20并行接口

接受差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号,并通过4096细分,输出36位的并行信号,在1 m/sec的速度下分辨率可达38.6皮米。

RLI20-P激光接口 — PanasonicRLI20-P激光接口 — Panasonic

RLI20-P使用来自RLE系统的1 Vpp正弦/余弦信号,可提供到Panasonic(MINAS A5系列)控制器的接口。 

RSU10 USB接口RSU10 USB接口

RSU10 USB接口可接收来自RLE系统的1 Vpp正弦/余弦信号,通过16,384细分,并通过USB端口输出位置读数。

REE接口盒REE细分盒

细分盒的REE范围为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案,使数字正交输出信号的分辨率提高了至少20倍。

雷尼绍平面镜安装底座中的平面镜光学镜组和附件

高反射率平面镜和可轻松调节的平面镜安装底座,以及信号损失最小的真空室窗口。选用这些光学镜组和组件可以使激光尺到达最佳测量性能。

15 mm DI光路分开镜组件15 mm DI光路分开镜组件

光路分开镜组件增加了RLD10-X3-DI差分干涉仪发射头的测量光束和参考光束之间的偏置量。

RVI20真空兼容型干涉镜RVI20真空兼容型干涉镜

当与RLD10-A3-XX发射头配合使用时,可使整个测量路径保持在真空环境中。

RMAP多光路集成镜

RMAP-3A多光路集成镜 雷尼绍多光路集成镜用于在XY平台应用中测量6个自由度,它可以利用RLD10-X3-DI干涉仪发射头的优异性能精确测量俯仰、扭摆及滚摆误差。