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光学镜组和组件

雷尼绍可提供一系列镜组选项作为您的特定应用的解决方案。

平面镜

具有安装位置的平面镜

雷尼绍提供的平面镜在具有低热膨胀系数的玻璃基底上制造而成,具有硬氧化物电介质涂层。

特性与优点

  • 热稳定性 — 在具有低热膨胀系数的基底上制造而成,可最大程度减少因环境变化导致的误差。
  • 高反射率 — 高反射率镜面 (>97%),可实现最佳性能。
  • 易于安装 — 雷尼绍的平面镜安装底座可提供简便的设定与准直解决方案。

尺寸

截面25 mm x 25 mm
光孔60 mm至380 mm(10 mm增量)

规格

局部平面度在12 mm宽 x 7 mm高的面积上< λ/10 (λ = 633 nm)
总平面度每100 mm < λ/10,每500 mm < 0.5 µm
正交偏振< 0.5%
反射率入射光束 > 97%
材料低热膨胀系数的玻璃

由于其自定义配置和尺寸,平面镜仅是特别定制产品,因此交货期较长,并且有最小订单量要求。或者,页面底部的规格手册为客户从当地购买同类产品提供了参考。

平面镜安装底座

雷尼绍RAM10平面镜安装底座

雷尼绍还提供可调节的安装底座,允许将镜子安装到运动系统上并与之正确对准,可与最长350 mm、截面25 mm x 25 mm的镜子配合使用。

这些安装底座可提供最高±2.5°扭摆调节和±1°俯仰调节。(实际调整范围取决于镜子长度。)

特性与优点

  • 易于准直 — 内置的俯仰和扭摆角度调整功能可加快镜子的准直过程。
  • 稳定安装 — 为镜子提供稳定安装基础,同时允许其根据要求产生热膨胀。
  • 非限制性 — 仅牢固地夹住镜子的两面,因此可减少穿过镜子的应力,降低安装后镜子弯曲变形的风险。

雷尼绍提供的平面镜安装底座不是真空兼容型。

39 mm真空室窗口

39 mm真空室窗口

雷尼绍RLE光纤激光尺采用干涉测量技术,可提供高分辨率的线性反馈。

差分干涉仪发射头 (RLD10-X3-DI) 可安装在真空室内壁上。真空室窗口允许激光光束从发射头射向测量镜组。真空室窗口还可以与其他干涉仪发射头型号结合使用(在这种情况下RLD应在真空室内测量),例如RVI20真空兼容型干涉镜。

虽然雷尼绍自己不生产真空室窗口,但我们根据定制规格购买的39 mm真空室窗口能够最大限度地发挥RLE系统的性能。

安装建议

雷尼绍对在真空室内壁上安装真空室窗口建议如下。

  • 切勿在存在张力的情况下安装窗口,否则会导致窗口变形和激光光束偏离标称值。
  • 真空室窗口至少一侧必须使用O形环,以使真空室内壁形成并保持密封。

15 mm DI光路分开镜组件

15 mm加大光距差分镜组件

光路分开镜组件增加了RLD10-X3-DI差分干涉仪发射头的测量光束和参考光束之间的偏置量。

该组件使用两个镜片将偏置量增加了15 mm,使得总的分离量达到29 mm(标准RLD10-X3-DI的偏置量为14 mm)。

特性与优点

  • 偏置量增加 — 允许测量光束和参考光束之间额外增加15 mm的偏置量。
  • 高反射率 — 使用高反射率镜组可最大程度减少测量光束和参考光束之间的信号强度差。
  • 标准安装 — 光路分开镜仍使用标准的DI发射头安装方式。

RVI20真空兼容型干涉镜

RVI20真空兼容型干涉镜

RVI20是一套用于平面镜的真空兼容型干涉镜组件,当与雷尼绍RLD10-A3-XX发射头配合使用时,可使整个测量路径保持在真空环境中。

RVI20可安装在真空室中,激光光束从RLD10-A3-XX发射头射出并穿过真空室窗口进入RVI20,然后到达平面镜。

特性与优点

RVI20真空兼容型干涉镜
  • 相对测量 — 允许测量机器的两个部件之间的相对位置变化,例如刀具和工件。
  • 真空兼容性 — 兼容高真空度应用,适合安装在真空室内。
  • 高质量光学元件 — RVI20包含通常用在RLD发射头中的雷尼绍高质量干涉镜组件。

RVI20可用于要求测量路径保持在真空环境中的激光尺应用。

产品信息