新型多光路集成镜实现测量XY平台的6个自由度

2018年11月

雷尼绍新型RMAP多光路集成镜可用于在XY平台应用中测量6个自由度，它可充分利用RLD10-X3-DI干涉仪发射头的优异性能，精确测量俯仰、扭摆及滚摆误差。在平台运动期间测量角度偏差有助于实时纠正上述机器运动误差，从而提高定位精度。虽然也可以使用独立的差分干涉仪发射头执行这些测量，但是多光路集成镜可将激光光斑所占空间大小缩至18 mm x 35 mm，这样对平台上的镜组尺寸要求便可更低，因此机器成本也将降低。

RMAP多光路集成镜的角度范围为±30角秒，与大多数性能优异的平台兼容，并且能够进一步优化平台性能。RMAP只有一个安装面，可简单快速地安装到真空室外壁或测量框架上。

使用RLD10-X3-DI干涉仪发射头进行角度测量时，可以抵消在两个光路的共有光程上由于激光频率或环境变化产生的误差。与从两个独立的光路计算得出的角度偏差相比，这种角度测量方式提高了测量精度和重复性。

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