RCU10实时正交补偿器
用于实时正交位置反馈的补偿系统。
![RCU10补偿单元和传感器](/media/img/gen/18e2d7d1d8264bb8a68a2c7b7af68c71.jpg)
在非真空环境下使用任何激光尺系统时,都要求某些形式的环境补偿来维持各种环境条件下的精度。干涉测量的原理取决于激光的波长,该值会根据传播激光的空气的折射率而产生微小变化。
±1 °C的气温变化、±3.3 mbar的气压变化或者50%相对湿度变化,这些环境变化会使激光波长和测量结果之间产生1 ppm的差异。
RCU10单元的输入和输出参数使用雷尼绍配置软件 (RCU-CS) 进行配置。可通过此页面底部的链接进行下载。
特性与优点
- 精度 — 采用气压和温度传感器对激光尺进行折射率补偿,可将精度提高到±1 ppm以内。
- 生产率提高 — 利用材料温度传感器对工件和机器的热膨胀影响进行补偿,可极大提高加工重复精度。
- 灵活性 — RCU10可对多种输出数字正交反馈信号的激光尺和直线光栅进行环境补偿。
配置RCU10系统
定义RCU10系统时,应考虑以下选项:
- RCU10补偿单元可附带或不附带内置压力传感器(分别为RCU10-PX-XX和RCU10-XX-XX)
- 对于多轴系统,最多可通过高速串行通信链接连接6个RCU10。如果作为多轴系统的一部分,仅需一个RCU10-PX-XX。
- 空气温度传感器
- 材料温度传感器
要确定您的具体应用所需的补偿系统的订货号,只需在RCU10订货号生成器的灰色单元格中输入您的要求。它将自动计算出必要的系统订货号,该订货号可用于询价或发出订单。
规格
特性 | 折射率补偿 材料膨胀补偿 |
精度 | ±1 ppm* |
数据格式 | 数字 - RS422正交信号 模拟 - 1 Vpp正弦/余弦信号 |
分辨率 | 数字 - 可变化至10 nm 模拟 - 可变化至20 µm |
速度 | 最高可达5 m/s |
* 数字输出状态下,须最多加上3个输入脉冲数和1个输出脉冲数;在某些模拟输出状态下,须再加上速度跟随误差。
可选备件
还提供大量可选附件,与RCU10实时正交补偿单元配合使用。A-8014-0670 | 串行 / USB转接头 |
RCU10-DB-XX | 传感器分配盒 |
RCU10-AC-X5 | 传感器铠装电缆 (5 m) |
RCU10-AT-XX | 空气温度传感器 |
RCU10-MT-XX | 材料温度传感器 |
软件下载
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Software download: RCU CS v2.0.5 [en]
RCU CS is the RCU10 configuration software. It allows all the parameters and operational modes to be configured before the RCU10 may be used. It also provides an operational display to monitor the compensation process, environment and error status.