RLD10角锥反射镜干涉仪
角锥反射镜干涉仪适合长距离和高速应用。
RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。
特性与优点
- 多轴解决方案 — 单轴和双轴角锥反射镜系统为多轴应用提供理想解决方案。
- 长距离和高速度 — 角锥反射镜干涉仪发射头适合具有更长距离和更高速度的应用，此时平面镜干涉仪可能不适用。
- 敏感环境 — 还提供低功率型号，适合功耗要求低于标准RLD特定值（即 < 2 W）的应用。
规格
| 轴行程 | 0 m至4 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模拟正交 = λ/2 (316 nm) |
系统非线性误差* (SDE) *不含接口 | 低于100 mm/s且信号强度 > 70%时 <±5 nm 2 m/s且信号强度 > 50%时 <±13 nm |
| 最高速度 | 可达2 m/s |
对于长度超过4 m的轴，请查看HS20激光尺系统，它支持长达60 m的轴。
产品信息
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