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RLD10角锥反射镜干涉仪

角锥反射镜干涉仪适合长距离和高速应用。

RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。

特性与优点

  • 多轴解决方案 — 单轴和双轴角锥反射镜系统为多轴应用提供理想解决方案。
  • 长距离和高速度 — 角锥反射镜干涉仪发射头适合具有更长距离和更高速度的应用,此时平面镜干涉仪可能不适用。
  • 敏感环境 — 还提供低功率型号,适合功耗要求低于标准RLD特定值(即 < 2 W)的应用。

规格

轴行程0 m - 4 m
分辨率(使用RLU配置)

模拟正交 = λ/2 (316 nm)
数字正交 = 20 nm
RPI20分辨率 = 77.2 pm

系统非线性误差* (SDE)

*不含接口

低于100 mm/sec且信号强度 > 70%时 <±5 nm
2 m/sec且信号强度 > 50%时 <±13 nm
最高速度可达2 m/sec

对于长度超过4 m的轴,请查看HS20激光尺系统,它支持长达60 m的轴。

对于非真空应用,为了维持变动环境条件下的精度,需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时正交补偿系统,用于对环境变化进行补偿。雷尼绍供应的角锥反射镜可能不适于真空或接近真空的应用。

RPI20并行接口集成到RLE系统中,可达到38.6皮米的分辨率(平面镜配置)。对于具有数字输出的增强分辨率,雷尼绍的REE系列细分盒能够提供0.395 nm的分辨率(平面镜配置)。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号,并提供并行输出格式。有关附件的详细信息,请参见RCU10补偿系统激光尺接口

产品信息