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VIONiC™光栅系列

VIONiC光栅系列是雷尼绍性能最高的增量式光栅,它可提供直接的数字位置反馈,具有优异的测量性能,运行速度快且可靠性极佳。VIONiC读数头集成雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术。它具有超低的电子细分误差 (SDE)、优异的抗污能力,而且无需额外使用适配器或单独的接口。

此外,VIONiC读数头可兼容各种直线栅尺、圆弧栅尺和圆光栅,从低膨胀ZeroMet™栅尺到高精度REXM圆环光栅,无一例外。VIONiC系列光栅因此成为具有多功能性和优异测量性能的理想光栅。

超低电子细分误差 (SDE)

电子细分误差 (SDE) 象形图

VIONiC系列光栅集成了雷尼绍经过市场检验的光学滤波系统和信号处理技术,可提供优异的测量性能。先进的细分技术可实现超低电子细分误差 (SDE)(通常 < ±15 nm);它是所有雷尼绍光栅中最低的。


实现高分辨率下的高速运行

速度象形图

VIONiC读数头采用智能细分芯片,提供高达2.5 nm的分辨率,在任何应用中均可实现高精度和重复性。该光栅的最大时钟频率为50 MHz,运行速度高达12 m/s。在0.1 μm的分辨率下,速度可达3.63 m/s,因此它是半导体制造工艺中提升生产效率的理想选择。


高级诊断工具

可选的ADT象形图

VIONiC光栅采用直观的自动校准模式设计,因此十分易于安装。可选的高级诊断工具ADTi-100可在安装或现场诊断期间提供实时的光栅数据反馈。

查找VIONiC栅尺选项

直线光栅

栅尺类型

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

栅尺最大长度

带码道选项的不锈钢钢带

RTLC20 FASTRACK栅尺

搭配可选FASTRACK的RTLC20

±5 µm/m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最长10 m(可根据要求提供10 m以上长度)

细窄型不锈钢钢带栅尺

RKLC20栅尺

RKLC20-S

±5 µm/m20 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长20 m(可根据要求提供20 m以上长度)

ZeroMet直线硬栅尺

RELM RSLM栅尺

RELM/RELE1 m内为±1 µm,1 m以上为±1 µm/m20 µm0.75 ±0.35 µm/m/°C最长1.5 m

不锈钢直线栅尺

RELM RSLM栅尺

RSLM20/RSLE20/RSLC20

1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm20 µm10.1 ±0.2 µm/m/°C最长5 m

圆弧光栅

栅尺类型

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

供应长度

细窄型不锈钢圆弧钢带

RKLC圆弧栅尺

RKLC20-S


±5 µm/m

20 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致


最长20 m(可根据要求提供20 m以上长度)

圆光栅

栅尺类型

栅尺名称

精度(取决于圆环直径)

栅距

20 °C时的热膨胀系数

圆环直径

不锈钢圆环

RESM-REST圆光栅(栅尺页面)


RESM20/REST20



刻划精度:±3.97至±0.38角秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52至550 mm

超高精度不锈钢圆环

REXM圆光栅(栅尺页面)
REXM20/REXT20

安装精度:

(直径 ≥ 100 mm)±1角秒
(直径为75 mm)±1.5角秒
(直径 ≤ 57 mm)±2角秒

20 µm15.5 ±0.5 µm/m/°C52至417 mm

可选的高级诊断工具ADTi-100

VIONiC高级诊断工具

VIONiC光栅系统可与高级诊断工具ADTi-100和ADT View软件兼容。它们可提供全面的实时光栅数据反馈,以协助完成要求更加严苛的安装和诊断操作。直观的软件界面具有以下功能:

  • 远程校准
  • 在整个轴长上实现信号优化
  • 读数头俯仰指示
  • 限位和参考零位指示
  • 显示光栅位置(相对于栅尺)的数字读数
  • 监控速度与时间曲线图
  • 导出和保存数据

主要特性

速度

时钟输出选项 (MHz)最高速度 (m/s)最小边缘间隔* (ns)
D (5 μm)X (1 μm)Z (0.5 μm)W (0.2 μm)Y (0.1 μm)H (50 nm)M (40 nm)P (25 nm)I (20 nm)O (10 nm)Q (5 nm)R (2.5 nm)
501212127.253.631.811.450.9060.7250.3630.1810.09125.3
401212125.802.901.451.160.7250.5800.2900.1450.07331.8
2512129.063.631.810.9060.7250.4530.3630.1810.0910.04551.2
2012128.063.221.610.8060.6450.4030.3220.1610.0810.04057.7
121210.365.182.071.040.5180.4140.2590.2070.1040.0520.02690.2
10128.534.271.710.8500.4270.3410.2130.1710.0850.0430.021110
08126.913.451.380.6900.3450.2760.1730.1380.0690.0350.017136
06125.372.691.070.5400.2690.2150.1340.1070.0540.0270.013175
04123.631.810.7300.3600.1810.1450.0910.0730.0360.0180.009259
014.530.9100.4500.1800.0900.0450.0360.0230.0180.0090.0050.0021038

*适用于带有1 m长电缆的读数头

超低电子细分误差 (SDE)

细分误差 — 10个误差循环

VIONiC™电子细分误差 (SDE)


X轴:读数头位置 (mm)

Y轴:误差 (nm)