VIONiC™光栅系列
VIONiC光栅系列是雷尼绍性能最高的增量式光栅，它可提供直接的数字位置反馈，具有优异的测量性能，运行速度快且可靠性极佳。VIONiC读数头集成雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术。它具有超低的电子细分误差 (SDE)、优异的抗污能力，而且无需额外使用适配器或单独的接口。
此外，VIONiC读数头可兼容各种直线栅尺、圆弧栅尺和圆光栅，从低膨胀ZeroMet™栅尺到高精度REXM圆环光栅，无一例外。VIONiC系列光栅因此成为具有多功能性和优异测量性能的理想光栅。
超低电子细分误差 (SDE)
VIONiC系列光栅集成了雷尼绍经过市场检验的光学滤波系统和信号处理技术，可提供优异的测量性能。先进的细分技术可实现超低电子细分误差 (SDE)（通常 < ±15 nm）；它是所有雷尼绍光栅中最低的。
实现高分辨率下的高速运行
VIONiC读数头采用智能细分芯片，提供高达2.5 nm的分辨率，在任何应用中均可实现高精度和重复性。该光栅的最大时钟频率为50 MHz，运行速度高达12 m/s。在0.1 μm的分辨率下，速度可达3.63 m/s，因此它是半导体制造工艺中提升生产效率的理想选择。
高级诊断工具
VIONiC光栅采用直观的自动校准模式设计，因此十分易于安装。它们与ADTpro-100独立使用型光栅诊断工具和ADTi-100诊断工具兼容，这两种工具都与ADT View软件兼容。它们可提供深入的高级诊断信息，以帮助优化光栅安装和现场查错，适用于要求极为严苛的运动控制应用。
查找VIONiC栅尺选项
直线光栅
栅尺类型 | 栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 栅尺最大长度 |
带码道选项的不锈钢钢带
| ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最长10 m（可根据要求提供10 m以上长度） | |
细窄型不锈钢钢带栅尺
| ±5 µm/m | 20 µm | 使用端压片将栅尺端部固定到基体后，栅尺的伸缩将与基体材料保持一致 | 最长20 m（可根据要求提供20 m以上长度） | |
ZeroMet直线硬栅尺
| RELM/RELE | 1 m内为±1 µm，1 m以上为±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最长1.5 m |
不锈钢直线栅尺
| 1 m内为±1.5 µm，2 m内为±2.25 µm，3 m内为±3 µm，5 m内为±4 µm | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最长5 m |
圆弧光栅
栅尺类型 | 栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 供货长度 |
细窄型不锈钢圆弧钢带
| ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 最长20 m（可根据要求提供20 m以上长度） |
圆光栅
栅尺类型 | 栅尺名称 | 精度（取决于圆环直径） | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 圆环直径 |
不锈钢圆环  | 刻划精度：±3.97至±0.38角秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至550 mm | |
超高精度不锈钢圆环  | REXM20/REXT20 | 安装精度： （直径 ≥ 100 mm）±1角秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至417 mm |
高级诊断工具选件
高级诊断工具可帮助用户执行系统设定和计划性维护，从而大幅减少计划外的机器停机时间。
ADTpro-100是一款手持式、独立使用型光栅诊断工具，具有集成式彩色触摸屏。ADTpro-100：
- 无需计算机或其他安装设备即可显示全面的实时光栅信息。
- 使用过程简便直观，具有“即插即用”功能，可辅助进行系统设定和校准。
- 与选装的ADT View计算机软件配用，该软件可将光栅数据保存为系统设定和性能记录。ADT View软件还可用于更新ADTpro-100固件。
ADTi-100与直观的ADT View计算机软件相结合：
- 可提供全面的实时光栅数据反馈，以协助完成要求更加严苛的安装和诊断操作。
- 在整个轴行程上辅助系统设定、校准和信号优化。
- 允许将信号强度与沿轴长度的位置等数据保存为系统设定和性能记录。
ADTpro-100和ADTi-100均是辅助进行系统优化和诊断的理想选择，尤其适用于在安装时读数头的LED指示灯不可见的情况。它们既可独立使用，亦可联机使用；它们可接入到读数头和控制器之间，作为控制回路的一部分。
主要特性
速度
| 时钟输出选项 (MHz) | 最高速度 (m/s) | 最小边缘间隔* (ns) | |||||||||||
| D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0.5 μm) | W (0.2 μm) | Y (0.1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2.5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7.25 | 3.63 | 1.81 | 1.45 | 0.906 | 0.725 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 25.3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5.80 | 2.90 | 1.45 | 1.16 | 0.725 | 0.580 | 0.290 | 0.145 | 0.073 | 31.8 |
| 25 | 12 | 12 | 9.06 | 3.63 | 1.81 | 0.906 | 0.725 | 0.453 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 0.045 | 51.2 |
| 20 | 12 | 12 | 8.06 | 3.22 | 1.61 | 0.806 | 0.645 | 0.403 | 0.322 | 0.161 | 0.081 | 0.040 | 57.7 |
| 12 | 12 | 10.36 | 5.18 | 2.07 | 1.04 | 0.518 | 0.414 | 0.259 | 0.207 | 0.104 | 0.052 | 0.026 | 90.2 |
| 10 | 12 | 8.53 | 4.27 | 1.71 | 0.850 | 0.427 | 0.341 | 0.213 | 0.171 | 0.085 | 0.043 | 0.021 | 110 |
| 08 | 12 | 6.91 | 3.45 | 1.38 | 0.690 | 0.345 | 0.276 | 0.173 | 0.138 | 0.069 | 0.035 | 0.017 | 136 |
| 06 | 12 | 5.37 | 2.69 | 1.07 | 0.540 | 0.269 | 0.215 | 0.134 | 0.107 | 0.054 | 0.027 | 0.013 | 175 |
| 04 | 12 | 3.63 | 1.81 | 0.730 | 0.360 | 0.181 | 0.145 | 0.091 | 0.073 | 0.036 | 0.018 | 0.009 | 259 |
| 01 | 4.53 | 0.910 | 0.450 | 0.180 | 0.090 | 0.045 | 0.036 | 0.023 | 0.018 | 0.009 | 0.005 | 0.002 | 1038 |
*适用于带有1 m长电缆的读数头
超低电子细分误差 (SDE)
细分误差 — 10个误差循环
X轴：读数头位置 (mm)
Y轴：误差 (nm)