RCU10实时补偿系统

在非真空环境下使用任何激光尺系统时,都要求某些形式的环境补偿来维持各种环境条件下的精度。

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RCU10补偿单元和传感器 这是因为干涉测量的原理取决于激光的波长,该值会根据传播激光的空气的折射率而产生微小变化。

±1 °C的气温变化、±3.3 mbar的气压变化或者50%相对湿度变化,这些环境变化会使激光波长和测量结果之间产生1 ppm的差异。

雷尼绍提供的RCU10,用于补偿这种环境变化。该装置是一种专用单轴环境补偿系统,专为用作实时方波位置反馈系统的一部分而设计。

RCU10系统组件包括:

  • RCU10补偿单元;可带或不带内置压力传感器(分别为RCU10-PX-XX和RCU10-XX-XX)
  • 空气温度传感器
  • 材料温度传感器

对于多轴系统,最多可通过高速串行通信链接连接6个RCU10。如果作为多轴系统的一部分,仅需一个RCU10-PX-XX。

RCU10订货号生成器可允许您根据具体应用,确定所需的补偿系统的订货号。只需在灰色单元格中输入数据,程序便会自动给出必要的系统订货号,该订货号可用于询价或发出订单。

特性与优点

  • 精度
    采用气压和温度传感器对激光尺进行折射率补偿,可将精度提高到+/- 1 ppm以内。
  • 生产率提高
    利用材料温度传感器对工件和机器的热膨胀影响进行补偿,可极大提高加工重复精度。
  • 灵活性
    RSU10可对多种输出数字方波反馈信号的激光尺和直线光栅进行环境补偿。

规格

特性折射率补偿
材料膨胀补偿
精度±1 ppm *
数据格式数字 - RS422方波正交信号
模拟 - 1 Vpp正弦/余弦信号
分辨率数字 - 可变化至10 nm
模拟 - 可变化至20 µm
速度最高可达 5 m/s

* 数字输出状态下,须最多加上±3的输入脉冲数和±1的输出脉冲数;在某些模拟输出状态下,须再加上速度跟随误差。

还提供大量可选附件,与RCU10实时方波补偿单元配合使用。

A-8014-0670串行 / USB转接头
RCU10-DB-XX传感器分配盒
RCU10-AC-X5传感器铠装电缆 (5 m)
RCU10-VA-XX真空用传感器组件
A-9904-1711真空用传感器连接器组件
A-9904-1712真空用传感器密封组件(备件x5)

文档

后续步骤

如果您需要了解更多信息或者询价, 或有其他要求,可以直接联系当地的雷尼绍办事处