SiGNUM™直线光栅SiGNUM™直线光栅集高速、非接触的性能与动态信号处理和IN-TRAC™自动调相光学参考零位等先进功能于一体; 使用极为方便,其优异的性能可与价格昂贵、栅距更小的光栅系统媲美。
选项RELM因钢栅尺的热膨胀系数为~0.6 µm/m/°C,有多种长度可供选择。坚固的因钢栅尺比玻璃栅尺具有更小的截面尺寸,而且操作和安装更为简便,没有破损的风险。RELM精度为±1 µm,分辨率达5 nm,能够满足要求苛刻的精密运动的需求。 RSLM不锈钢直线栅尺的性能可与精细栅距的玻璃栅尺媲美,有多种长度可供选择,最长可达5 m。在5 m长度内的总体精度(包括斜率误差和线性误差) 优于±4 μm —达到业内最高水平!RSLM可以方便的成卷存放,一旦展开,就可以像直线栅尺一样使用。此外,该栅尺还具有超低的周期误差 (±30 nm),是测量精度要求严格的长行程应用场合的理想解决方案。 技术
通过主动调节各个通道增益、偏置量以及对SiGNUM™读数头内LED指示灯灯源进行控制,可使这些信号的平衡和电平控制进一步得到增强。因此,固有周期误差(电子细分误差,SDE)仅为±30 nm,相当于0.15%的栅尺刻划周期。在SiGNUM™ Si接口内,通过CORDIC算法进行细分。 IN-TRAC™参考零位直接刻划在增量栅尺上。此特征被光学滤波系统滤除,但被读数头内一个分离的光电检测器检测到。通过光学感应和门控电路产生参考零位信号,在所有的速度下都具有双向可重复性。安装后,相应的模拟通道的相位校准通过接口内的逻辑自动执行,并提供全面的系统监控和安装帮助。 下载
样本
规格手册
安装指南
技术说明
3D模型(Step格式) |