XM-60和XM-600多光束激光干涉仪的性能规格
0 m - 4 m
| 线性 | |
| 测量精度 | ±0.5 ppm（使用环境补偿） |
| 分辨率 | 1 nm |
测量范围 | 0 m至4 m |
角度（俯仰/扭摆） | |
| 精度 | ±0.004A ±(0.5微弧度 + 0.11M微弧度) （A = 显示的误差读数） （M = 距离测量结果，单位：米） |
| 分辨率 | 0.03微弧度 |
| 测量范围 | ±500微弧度 |
| 直线度 | |
| 测量精度 | 典型范围：±0.01A ±1 μm 扩展范围：±0.01A ±1.5 μm （A = 显示的误差读数） |
| 分辨率 | 0.25 μm |
| 测量范围 | 典型范围：±50 µm（半径） 扩展范围：±250 µm（半径） |
| 滚摆 | |
| 精度 | ±0.01A ±6.3微弧度 （A = 显示的误差读数） |
| 分辨率 | 0.12微弧度 |
| 测量范围 | ±500微弧度 |
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。
4 m - 6 m
- 线性、角度和直线度测量的性能规格在4 m和6 m之间与在0 m和4 m之间相同。
- 在4 m至6 m范围内进行滚摆测量的性能规格为：
| 滚摆 | |
| 精度 | ±0.01A ±10.0微弧度 （A = 滚摆误差（微弧度）） |
| 分辨率 | 0.12微弧度 |
| 测量范围 | ±500微弧度 |
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。当测量范围超过4 m时，需要在XM发射器和接收器之间进行准直。如果因准直欠佳导致接收到的激光信号强度低于4%，CARTO软件将通知用户优化准直。
6 m以上
- 线性和角度测量的性能规格在6 m和8 m之间与在0 m和4 m之间相同。
- 在6 m至8 m范围内进行直线度测量的性能规格尚待验证。
- 在6 m至8 m范围内进行滚摆测量的性能规格尚待验证。
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。当测量范围超过4 m时，需要在XM发射器和接收器之间进行准直。如果因准直欠佳导致接收到的激光信号强度低于4%，CARTO软件将通知用户优化准直。