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TONiC™光栅系列

什么是TONiC?

TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差宽松,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。

TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的超高真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

网站特写图:TONiC读数头

栅尺选项

  • 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴位置。
  • 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

带码道选项的不锈钢钢带

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

配有可选FASTRACK™的RTLC20

RTLC20 FASTRACK栅尺

±5 µm/m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

10 m(可根据要求提供10 m以上长度)

TONiCTONiC UHV

细窄型不锈钢钢带栅尺

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀系数

栅尺长度

读数头兼容性

RKLC20-S

RKLC20栅尺

±5 μm/m

20 µm

使用端部盖条将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

20 m(可根据要求提供20 m以上长度)

TONiCTONiC UHV

ZeroMet™直线硬栅尺 

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RELM20/RELE20

RELM RSLM栅尺

1 m内为±1 µm,1 m以上为±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

1.5 m

TONiCTONiC UHV

不锈钢直线硬栅尺

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RSLM20/RSLE20/

RSLC20

RELM RSLM栅尺

1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

5 m

TONiCTONiC UHV

镀金钢带

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RGSZ20/RGSN20

RGSZ20-S栅尺

±15 µm/m

20 µm

使用端部盖条将栅尺端部固定到基体后,栅尺保持与基体相同的热膨胀

如需50 m以上长度,请联系雷尼绍

TONiCTONiC UHV

不锈钢圆光栅

栅尺名称

刻划精度(取决于圆光栅直径)

栅距

20 °C时的热膨胀系数

圆光栅直径

读数头兼容性

RESM20/REST20/RESD20

RESM-REST圆光栅(栅尺页面)

±3.97至±0.38角秒

20 µm

15.5 ±0.5 μm/m/°C

52至550 mm

TONiCTONiC UHV

超高精度不锈钢圆光栅 

栅尺名称

安装精度(取决于圆光栅直径)

栅距

20 °C时的热膨胀系数

圆光栅直径

读数头兼容性

REXM20/REXT20

REXM圆光栅(栅尺页面)

(直径≥100 mm)±1角秒
(直径为75 mm)±1.5角秒
(直径≤57 mm)±2角秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

 52至417 mm

TONiCTONiC UHV