TONiC™光栅系列

什么是TONiC？

TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统，速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差宽松，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。

TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10^-10Torr的超高真空应用中，这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

栅尺选项

直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴位置。
圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

带码道选项的不锈钢钢带

栅尺名称	精度	栅距	20 °C时的热膨胀系数	栅尺最大长度	读数头兼容性
配有可选FASTRACK™的RTLC20	±5 µm/m	20 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	10 m（可根据要求提供10 m以上长度）	TONiC、TONiC UHV

细窄型不锈钢钢带栅尺

栅尺名称	精度	栅距	热膨胀系数	栅尺长度	读数头兼容性
RKLC20-S	±5 μm/m	20 µm	使用端部盖条将栅尺端部固定到基体后，栅尺的伸缩将与基体材料保持一致	20 m（可根据要求提供20 m以上长度）	TONiC、TONiC UHV

ZeroMet™直线硬栅尺

栅尺名称	精度	栅距	20 °C时的热膨胀系数	栅尺最大长度	读数头兼容性
RELM20/RELE20	1 m内为±1 µm，1 m以上为±1 µm/m	20 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	1.5 m	TONiC、TONiC UHV

不锈钢直线硬栅尺

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RSLM20/RSLE20/

RSLC20

1 m内为±1.5 µm，2 m内为±2.25 µm，3 m内为±3 µm，5 m内为±4 µm

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

5 m

TONiC、TONiC UHV

镀金钢带

栅尺名称	精度	栅距	热膨胀系数	栅尺最大长度	读数头兼容性
RGSZ20/RGSN20	±15 µm/m	20 µm	使用端部盖条将栅尺端部固定到基体后，栅尺保持与基体相同的热膨胀	如需50 m以上长度，请联系雷尼绍	TONiC、TONiC UHV

不锈钢圆光栅

栅尺名称	刻划精度（取决于圆光栅直径）	栅距	20 °C时的热膨胀系数	圆光栅直径	读数头兼容性
RESM20/REST20/RESD20	±3.97至±0.38角秒	20 µm	15.5 ±0.5 μm/m/°C	52至550 mm	TONiC、TONiC UHV

超高精度不锈钢圆光栅

栅尺名称	安装精度（取决于圆光栅直径）	栅距	20 °C时的热膨胀系数	圆光栅直径	读数头兼容性
REXM20/REXT20	（直径≥100 mm）±1角秒（直径为75 mm）±1.5角秒（直径≤57 mm）±2角秒	20 µm	15.5 ±0.5 µm/m/°C	52至417 mm	TONiC、TONiC UHV