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超高真空 (UHV) 光栅

特性

  • 由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低
  • 残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境
  • 120 °C烘焙温度
  • 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作,摩擦和磨损均为零
  • 无气密孔
  • 高精度直线光栅和圆光栅系列

对于许多工业加工过程而言,如果环境中存在大量的空气或其他气体,则会对成品的质量造成损害,因此加工过程必须在一个残余压力水平极低的真空环境内进行。如果这些加工过程涉及运动控制,则必须用到真空兼容型光栅系统。

雷尼绍超高真空 (UHV) 兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计,用于各种科研、半导体和其他高级工业应用场合,真空压力达10-10 Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产品相同,但是UHV光栅在设计上消除了气密孔,并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验机构鉴定,包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试(可应要求提供)。

UHV兼容标识

该系列包括各型号的绝对式RESOLUTE™和增量式TONiC™读数头,以及各种直线栅尺和圆光栅,提供优异的性能和高可靠性。

UHV绝对式光栅

RESOLUTE UHV是首款适合在UHV环境下使用的真正意义的绝对式光栅,采用了与RESOLUTE系列的其他产品相同的工作原理。因此该光栅具备可媲美精细栅距光栅的性能,其支持多种串行协议,并且安装公差大、内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定绝对位置,减少非受控运动,并且有助于执行完整的轴命令,无需返回基准位置或者“开启并晃动”。RESOLUTE的分辨率为1 nm,电子细分误差 (SDE) 为±40 nm,RMS噪音<10 nm,同时也帮助用户显著提高性能。

UHV增量式光栅

该系列中的增量式读数头包含动态信号调整功能,其中自动增益控制 (AGC) 有助于长时间内获取稳定可靠的信号,而自动偏置控制 (AOC) 则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度纹波,从而在最大程度上帮助减少真空条件下电机中积聚的热量。直线栅尺选项包括自粘式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet直线硬栅尺,可确保高精度。圆光栅选项包括轻薄小巧的RESM和超高精度的REXM圆光栅,安装精度确保优于±1角秒。