超高真空光栅
对于许多工业加工过程而言，如果环境中存在大量的空气或其他气体，则会对成品的质量造成损害。因此，这些加工过程必须在一个残余压力水平极低的真空环境内进行。如果这些加工过程涉及运动控制，则必须用到超高真空 (UHV) 光栅系统。
保持洁净的高真空环境并尽量降低出气率
雷尼绍UHV兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科研、半导体和其他高级工业应用场合，真空压力达10-10 Torr。
其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产品相同，但是UHV光栅在设计上消除了气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验机构鉴定，包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试（可应要求提供）。
该系列包括增量式和绝对式开放光栅。
市场上有许多高质量的光栅产品，但很少有兼容真空应用的。雷尼绍的TONiC UHV光栅不仅性能优异，而且可靠性高，是我们的理想选择。
VAD Instruments（韩国）
增量式UHV光栅
TONiC™ UHV开放式光栅系统
TONiC UHV光栅是TONiC光栅系列的特别改进型号。它能够：
- 与一系列栅尺兼容：
- 直线栅尺：RTLC不锈钢钢带栅尺、RKLC细窄型不锈钢钢带栅尺、RELM ZeroMet直线硬栅尺、RSLM不锈钢直线硬栅尺。
- 圆光栅：RESM不锈钢圆环光栅、REXM超高精度不锈钢圆环光栅。
绝对式UHV光栅
RESOLUTE™ UHV开放式光栅系统
RESOLUTE UHV光栅是RESOLUTE光栅系列的特别改进型号。它能够：
- 提供BiSS® C和Panasonic串行接口。
- 与一系列栅尺兼容：
- 直线栅尺：RTLA不锈钢钢带栅尺、RELA ZeroMet直线硬栅尺、RSLA不锈钢直线硬栅尺。
- 圆光栅：RESA不锈钢圆环光栅、REXA超高精度不锈钢圆环光栅。
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