超高真空 (UHV) 光栅
特性
- 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低
- 残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境
- 120 °C烘焙温度
- 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零
- 无气密孔
- 高精度直线光栅和圆光栅系列
对于许多工业加工过程而言，如果环境中存在大量的空气或其他气体，则会对成品的质量造成损害，因此加工过程必须在一个残余压力水平极低的真空环境内进行。如果这些加工过程涉及运动控制，则必须用到真空兼容型光栅系统。
雷尼绍超高真空 (UHV) 兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科研、半导体和其他高级工业应用场合，真空压力达10-10 Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产品相同，但是UHV光栅在设计上消除了气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验机构鉴定，包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试（可应要求提供）。
UHV绝对式光栅
RESOLUTE UHV是首款适合在UHV环境下使用的真正意义的绝对式光栅，采用了与RESOLUTE系列的其他产品相同的工作原理。因此该光栅具备可媲美精细栅距光栅的性能，其支持多种串行协议，并且安装公差大、内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定绝对位置，减少非受控运动，并且有助于执行完整的轴命令，无需返回基准位置或者“开启并晃动”。RESOLUTE的分辨率为1 nm，电子细分误差 (SDE) 为±40 nm，RMS噪音<10 nm，同时也帮助用户显著提高性能。
UHV增量式光栅
该系列中的增量式读数头包含动态信号调整功能，其中自动增益控制 (AGC) 有助于长时间内获取稳定可靠的信号，而自动偏置控制 (AOC) 则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度纹波，从而在最大程度上帮助减少真空条件下电机中积聚的热量。直线栅尺选项包括自粘式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet直线硬栅尺，可确保高精度。圆光栅选项包括轻薄小巧的RESM和超高精度的REXM圆环光栅，安装精度确保优于±1角秒。