超高真空光栅
保持洁净的高真空环境并尽量降低出气率
雷尼绍UHV兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科研、半导体和其他高级工业应用场合，真空压力达10-10 Torr。
其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产品相同，但是UHV光栅在设计上消除了气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验机构鉴定，包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试（可应要求提供）。
该系列包括增量式和绝对式开放光栅。
市场上有许多高质量的光栅产品，但很少有兼容真空应用的。雷尼绍的TONiC UHV光栅不仅性能优异，而且可靠性高，是我们的理想选择。
VAD Instruments（韩国）
增量式UHV（功能安全型）光栅
TONiC™ UHV（功能安全型）开放式光栅系统
TONiC UHV光栅是TONiC光栅系列的特别改进型号。它能够：
- 与一系列栅尺兼容：
- 直线栅尺：RTLC不锈钢钢带栅尺、RKLC细窄型不锈钢钢带栅尺、RELM ZeroMet直线硬栅尺、RSLM不锈钢直线硬栅尺。
- 圆光栅：RESM不锈钢圆环光栅、REXM超高精度不锈钢圆环光栅。
绝对式UHV（功能安全型）光栅
RESOLUTE™ UHV（功能安全型）开放式光栅系统
RESOLUTE UHV光栅是RESOLUTE光栅系列的特别改进型号。它能够：
- 提供BiSS® C和Panasonic串行接口。
- 与一系列栅尺兼容：
- 直线栅尺：RTLA不锈钢钢带栅尺、RELA ZeroMet直线硬栅尺、RSLA不锈钢直线硬栅尺。
- 圆光栅：RESA不锈钢圆环光栅、REXA超高精度不锈钢圆环光栅。
观看关于RESOLUTE绝对式UHV光栅的介绍视频
RESOLUTE UHV光栅的RGA结果
雷尼绍为各种RESOLUTE真空系统提供RGA（残余气体分析）数据。这些数据显示了光栅系统对真空环境产生的影响。
RGA结果
测试计划
使用一台四极杆质谱仪 (AccuQuad 200 RGA) 采集RGA（残余气体分析）数据。使用一台电离规 (G8130) 测量真空室压力。在对系统进行初始调节后，记录下测试真空室中的背景质谱和总压力。
组件放置在真空系统 (0.0035 m3) 内，然后使用KJL Lion 802 (800/s) 二极型离子泵和Divac隔膜泵在环境温度下对系统抽取真空，持续时间24小时，之后再次记录下测试真空室中的背景扫描结果和总压力。如果系统压力优于5 x 10-9 mbar，测试样品将在120℃的温度下烘干48小时。随后令系统冷却到环境温度，再采集最终的质谱和总压力测量数据。最终的RGA扫描结果如下所示。
注：
很难实现对这些结果的精确复现，因为RGA数据取决于真空系统的状态、规格和性能。但是，残余气体分析测试的结果表明，RESOLUTE UHV并未向系统中带入严重污染，即在本产品存在的情况下可以实现超高真空条件。
