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TONiC™ UHV增量式光栅系统配用RTLC20直线栅尺

特性

  • 读数头尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
  • 分辨率达1 nm
  • 速度高达10 m/s
  • 模拟或数字输出
  • 超低电子细分误差 (SDE):通常 < ±30 nm
  • 客户可选择的光学IN-TRAC™参考零位

优点

  • 超高真空 (UHV)
  • 钢带栅尺的便利性和无与伦比的坚固性
  • 导轨型光栅系统,栅尺安装和更换简单快捷
  • 超紧凑型光栅,具有动态信号调节功能,运动控制性能优异
  • 诊断组件
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什么是TONiC UHV?

TONiC UHV是雷尼绍推出的紧凑型非接触式光栅系统,适合超高真空应用,运动控制性能优异。

TONiC的速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在直线和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差宽松,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常 < ±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。

什么是RTLC20栅尺?

RTLC20是一款轻薄小巧的不锈钢钢带栅尺,其具有20 µm栅距和用户可选择的IN-TRAC参考零位。精度达±5 µm/m,长度最大可达10米(可根据要求提供10米以上长度)。有两种安装选项可供选择,均具有独立热膨胀系数和钢带栅尺的便利性。
RTLC20能够与革命性创新的FASTRACK™栅尺导轨系统结合使用。该系统可快速轻松地安装导轨,而无需固定孔。移除一次性垫片,然后将钢带栅尺送入导轨。
RTLC20-S通过背面自带的不干胶带固定到基体上。不干胶的作用是确保基体的热膨胀不会影响到栅尺。
为了完成安装,两种类型的栅尺都用夹具夹在一个点上,从而提供基准位置。

为什么选择这种光栅系统?

超高真空 (UHV)

TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能,而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺,因此适合用于低至10 -10 Torr的超高真空条件。
TONiC UHV系列光栅及附件由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低,进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境,适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。

栅尺方便拆卸

RTLC20/FASTRACK非常适合需要将机器拆分进行运输或其他要求栅尺安装/拆卸转运的应用场合。栅尺可从导轨上拆下并快速重新装上,即使在空间狭小受限的场合也是如此,因此减少了机器停机时间。

卓越的测量性能

TONiC光栅采用了雷尼绍经过市场检验的光学滤波系统和先进的信号处理技术。自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 技术可减少读数头内的模拟信号噪声和数字抖动。

TONiC光栅提供 <±0.5 nm RMS的极低信号输出抖动和 <±30 nm的低电子细分误差 (SDE),使系统能够更好地保持位置并在直线电机应用中产生更少的热量。低抖动还可在低速运行的高精度应用中实现更为平稳的速度控制。

灵活的配置

TONiC系列提供各种外部接口,可根据应用的速度和分辨率要求进行配置。通过外部接口的后期集成和配置,一个功能全面的TONiC读数头可为最终用户的产品定制工作提供多种选项。

TONiC接口选项支持数字、模拟输出或数字和模拟信号的双输出。TD(双分辨率)接口提供可选的双分辨率输出;还提供DPI接口用于大幅面打印应用。TONiC光栅配置的灵活性使原始设备制造商 (OEM) 能够在各种应用中尽享其优异的运动控制性能和高效率优势。

接口选项

TD(双分辨率)接口

  • 可选双分辨率正交输出。Ti接口(方形)
  • 非常适合要求高速运动及高精度移动的应用。

DOP(双输出)接口

  • 提供同步的数字方波和1 Vpp信号。
  • 设计用于需要将一个或多个操作与运动轴同步的应用场合。TONiC双输出 (DOP) 接口

可选诊断组件

TONiC™诊断组件(软件和硬件)

TONiC诊断软件可用于优化TONiC光栅的安装,并提供快速全面的系统校准方案。该软件必须与TONiC诊断硬件配合使用,硬件可向雷尼绍购买(订货号为A-9411-0011)。该硬件内嵌至客户端电子设备,或通过USB电缆(组件中提供)连接至计算机。

了解有关TONiC诊断组件的详细信息。

技术规格

测量标准

FASTRACK RTLC20:带导轨系统的不锈钢钢带栅尺

RTLC20-S:背面自带不干胶带的不锈钢钢带栅尺,可直接安装至基体,无需FASTRACK导轨

读数头尺寸 (LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

栅距

20 μm

20 °C时的热膨胀系数

10.1 ±0.2 μm/m/°C

20 °C时的精度等级

±5 μm/m

参考零位

IN-TRAC参考零位直接嵌入RTLC20/RTLC20-S

选择器磁铁用于识别选定的参考零位

限位开关

单限位或双限位(订货时选择)

栅尺长度

FASTRACK100 mm至25 m

RTLC20/RTLC20-S:最长可达10 m

(可根据要求提供10 m以上长度)

最高速度

模拟

数字

(详见规格手册)

-3 dB时可达10 m/s

达到10 m/s

电子细分误差 (SDE)

通常 < ±30 nm

动态信号控制

实时信号调节,包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC),可在操作期间实现性能优化

增量信号

模拟

数字


1 Vpp(周期为20 µm)

分辨率从5 μm至1 nm

电气连接

电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型连接器(直接连接至TONiC接口)

电源

5 V ±10%,< 100 mA(模拟系统),< 200 mA(数字系统)(无终端)

读数头功耗< 100 mA

振动(工作)

55 Hz至2000 Hz时,最大振动为100 m/s2

冲击(非工作)

1000 m/s2,6 ms,½正弦

工作温度(系统)

0 °C至+70 °C

烘焙温度(非工作)

120 °C(仅限读数头和栅尺)

防护等级

读数头:IP20

接口:IP20

电缆构造

镀锡编织铜线电缆,单层屏蔽,带FEP绝缘

请参阅规格手册,了解详细信息。