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激光尺详解

激光尺系统能够为您的测量工具组合增添更高的准确性与精密度。激光干涉测量法是一种久经验证、成熟可靠的高精度测距方法。

雷尼绍的干涉测量激光系统

自1994年以来,雷尼绍一直提供长距离与短距离的激光反馈解决方案。

我们的首款长距离方案是HS10激光尺系统,其测量范围可达60 m,并广泛应用在航空航天、船舶制造及其他专业领域的大型机床上。2012年,我们推出了HS20长距离激光尺,它具有重新设计的光学系统和电子元件,因此更加耐用,性能也更加先进。

RLE激光尺系列于2001年推出,可提供短距离位置反馈功能(最长4 m)。

RLE使用创新“远程”激光源和光纤连接的激光发射头,因此可提高测量精度,节省安装空间,并简化安装和设定过程。该系统易于配置,可适合不同的光学结构和应用。

RLE系统已被全球众多缺陷检测扫描电镜 (DR-SEM) 及关键尺寸扫描电镜 (CD-SEM) 测量设备的制造商使用,同时也应用于其他各种短距离测量。在以前无法实现的测量应用中,RLE的特性和功能体现了干涉测量的优势。阅读我们的文章为什么要使用干涉测量激光尺,了解更多采用雷尼绍激光尺的优势。

RLE和HS20系统均提供多种附件供您选用,包括环境补偿系统、光学和信号接口等。

迈克尔逊干涉仪示意图


想了解它的工作原理?

我们的《干涉测量法的工作原理是什么》一文解析了激光干涉测量的原理,以及它如何用于实现高精度的位置反馈。

阅读文章

哪些类型的应用使用激光尺?

激光尺或位移干涉仪通常用于精度要求极高的应用。

雷尼绍的激光尺系统适用于各类客户应用场景。该系统将位移干涉仪的高性能测量能力与传统钢带栅尺和玻璃栅尺光栅所具有的易安装性相结合。

硅晶圆半导体导航图像
同步加速器导航
© Getty images:激光平台
激光尺航空航天导航
© Getty images:LCD检测
坐标测量机测量图片

雷尼绍的激光尺能够实现高分辨率、低周期误差的直线位置测量。深入了解我们的全系列干涉测量激光尺、长距离激光尺及其配套附件。

常见问题解答

我不太确定某个技术术语的含义。是否有一份常用干涉测量激光尺术语表可供参考?

有的,您可以在我们的术语表中找到最常用术语的定义。

 

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