RESOLUTE™ UHV绝对式光栅系统配用REXA30圆环光栅
特性
- 串行接口：BiSS® C、Panasonic
- 读数头尺寸：36 x 16.5 x 17.2 mm
- 分辨率达32位/转
- 速度达8500 rpm
- 安装精度达±1角秒
优点
- 厚截面圆环光栅
- 宽松的安装公差
- 真空环境出气率低
- RMS抖动低于10 nm，提高了位置控制稳定性
- ±40 nm电子细分误差，可实现稳定的速度控制
- 高级诊断工具选件
什么是RESOLUTE UHV？
RESOLUTE UHV为超高真空应用提供绝对式光栅技术，帮助客户提高测量效率，降低损坏风险，并增强可靠性。
RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的绝对式光栅。RESOLUTE能够在8500 rpm的转速下达到32位分辨率，其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破！
什么是REXA30圆环光栅？
REXA30为一体式不锈钢圆环光栅，其柱面上直接刻有30 µm栅距的绝对式刻线。它的截面较大，能够减少除了偏心之外的所有安装误差，而偏心则可使用两个Resolute读数头的平均结果轻松修正。REXA30的总体安装精度为±1角秒，零联接误差，而且还具有优异的重复精度。
它提供多种尺寸（直径从52 mm到417 mm），所有这些都具有内径大、安装灵活的特点。非接触形式消除了传统封闭式光栅固有的反向间隙、扭转误差（扭变）及其他机械滞后误差。
为什么选择这种光栅系统？
轻松查错和维护
高级诊断工具ADTa‑100可从RESOLUTE™光栅读数头（标有ADT符号）中获取全面的实时数据。然后通过用户友好型ADT View软件界面显示这些信息。尽管在大多数情况下，借助光栅内置的LED安装指示灯就能够完成系统安装，但ADT可协助完成要求更加严苛的安装操作。ADT还可报告光栅性能并协助系统查错，从而避免机器出现长时间停机。
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的绝对式光栅技术，通过一个适合在低达10 -9 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境，非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。
宽松的安装公差
RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排（一个为增量式，另一个为绝对式）方法，因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是，这种绝对式光栅采用单码道绝对式栅尺，将绝对位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差（扭摆公差为±0.5°），因此安装快捷方便，具有优异的长期稳定性，即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯，用于进一步协助安装和诊断。
可选的高级诊断工具ADTa-100
RESOLUTE光栅读数头（标有ADT符号）与高级诊断工具ADTa-100和ADT View软件兼容。它们可提供全面的实时光栅数据反馈，以协助完成要求更加严苛的安装和诊断操作。直观的软件界面具有以下功能：
- 远程校准
- 在整个轴长上实现信号优化
- 显示光栅位置（相对于栅尺）的数字读数
- 导出和保存数据
- 设定零位
串行接口
| 串行接口 | 说明 | 规格手册 | 兼容产品 |
| BiSS C | 雷尼绍绝对式光栅支持BiSS C（单向）开放式协议。BiSS C是一种高速串行接口，适用于要求较高加速度、平稳的速度控制、优异的重复精度和超强的位置稳定性的动态轴。 | ||
Panasonic | 配有Panasonic串行接口的RESOLUTE提供直线光栅和圆光栅两种形式。它与A5和A6系列驱动装置兼容，能提供高分辨率可重复反馈，以实现更好的伺服和速度控制。 | RESOLUTE Panasonic | 不适用 |
技术规格
测量标准 | 一体式超高精度绝对编码式不锈钢圆环光栅 |
读数头尺寸 (LxWxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
栅距 | 标称30 µm |
| 20 °C时的热膨胀系数 | 15.5 ±0.5 μm/m/°C |
圆环外径 | 52 mm至417 mm |
总体安装精度（配有2个读数头） | （直径 ≥ 100 mm）±1角秒 （直径为75 mm）±1.5角秒 （直径 ≤ 57 mm）±2角秒 |
最高速度 | （详见规格手册） 8,500 rpm（在52 mm圆环上） |
串行接口† | BiSS C、Panasonic |
分辨率 | BiSS C：18位、26位和32位 Panasonic：23位和32位 |
电子细分误差 (SDE) | ±40 nm |
电气连接 | 栅尺长度可达10m（带散线） |
电源 | 5 V ±10%，5 V时为250 mA（带终端） |
振动（工作） | 55 Hz至2000 Hz时，最大振动为100 m/s2 |
冲击（非工作） | 1000 m/s2，6 ms，½正弦 |
工作温度 | 0 °C至+75 °C |
烘焙温度（非工作） | 120°C |
防护等级 | IP30 |
电缆构造 | 镀银编织铜线电缆，单层屏蔽。FEP绝缘，采用镀锡铜线。 |
请参阅规格手册，了解详细信息。
†其他串行协议将不断添加。