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配有RSLA30直线栅尺的RESOLUTE™ UHV绝对式光栅系统

特性

  • 串行接口:BiSS® C、Panasonic
  • 读数头尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
  • 100 m/s时分辨率达1 nm
  • 20 °C时5 m长度内精度为±4 µm
  • 20 °C时的栅尺热膨胀系数:10.1 ±0.2 µm/m/°C

优点

  • 高精度直线硬栅尺
  • 宽松的安装公差
  • 真空环境出气率低
  • RMS抖动低于10 nm,提高了位置控制稳定性
  • ±40 nm电子细分误差,可实现稳定的速度控制
  • 高级诊断工具选件
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什么是RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV为超高真空应用提供绝对式光栅技术,帮助客户提高测量效率,降低损坏风险,并增强可靠性。

RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的绝对式光栅。RESOLUTE分辨率达到1 nm,速度达到100 m/s,其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破!

2015年度女王企业奖:创新奖

荣获2015年度女王企业奖之创新奖

什么是RSLA30栅尺?

RSLA30是一种不锈钢直线硬栅尺,具有30 µm栅距的绝对式栅尺编码。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美,在5 m长度内的总体精度(包括斜率误差和线性误差)优于±4 µm。它可以方便地成卷存放,一旦展开,就可以像直线栅尺一样使用。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。

为什么选择这种光栅系统?

轻松查错和维护

高级诊断工具ADTa‑100可从RESOLUTE™光栅读数头中获取全面的实时数据。通过用户友好型ADT View软件界面显示这些信息。尽管在大多数情况下,借助光栅内置的LED安装指示灯就能够完成系统设定,但ADT可用于在安装条件更加苛刻的情况下提供帮助。ADT还可报告光栅性能并协助系统查错,从而避免出现漫长的机器停机时间。

UHV(超高真空)

RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的绝对式光栅技术,通过一个适合在低达10 -9 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境,非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。

宽松的安装公差

RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排(一个为增量式,另一个为绝对式)方法,因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是,这种绝对式光栅采用单码道绝对式栅尺,将绝对位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差(扭摆公差为±0.5°),因此安装快捷方便,具有优异的长期稳定性,即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯,用于进一步协助安装和诊断。

可选的高级诊断工具ADTa-100

高级诊断工具ADTa-100

RESOLUTE光栅系统与高级诊断工具ADTa-100和ADT View软件兼容。它们可提供全面的实时光栅数据反馈,以协助完成要求更严苛的安装和诊断操作。直观的软件界面可用于:

  • 远程校准
  • 在整个轴长上进行信号优化
  • 光栅位置(相对于栅尺)的数字读数
  • 导出和保存数据
  • 设定零位

串行接口

串行接口说明规格手册兼容产品
BiSS C

雷尼绍绝对式光栅支持BiSS C(单向)开放式协议。BiSS C是一种高速串行接口,适用于要求较高加速度、平稳的速度控制、优异的重复精度和超强的位置稳定性的动态轴。
采用BiSS C的RESOLUTE提供直线光栅和圆光栅两种版本,可与各种行业标准控制器、驱动装置、数显表 (DRO) 和计算机计数卡兼容。

RESOLUTE BiSS C

BiSS C兼容产品页面

Panasonic

配有Panasonic串行接口的RESOLUTE提供直线光栅和圆光栅两种形式。它与A5和A6系列驱动装置兼容,能提供高分辨率可重复反馈,以实现更好的伺服和速度控制。

RESOLUTE Panasonic

不适用

技术规格


测量标准

绝对编码式高精度不锈钢直线硬栅尺

读数头尺寸 (LxWxH)

36 mm x 16.5 mm x 14.8 mm

栅距

标称30 µm

20 °C时的热膨胀系数

10.1 ±0.2 μm/m/°C

20 °C时的精度等级

1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm,(包括斜率误差和线性误差),校准可溯源到国际标准

栅尺长度

一些BiSS C协议类型有最大长度限制

(详见规格手册)

80 mm至5 m

最高速度

(详见规格手册)

最高可达100 m/s

串行接口*

BiSS C、Panasonic

分辨率

BiSS C:分辨率为50 nm、5 nm和1 nm

Panasonic:分辨率为100 nm、5 nm和1 nm

电子细分误差 (SDE)

±40 nm

电气连接

栅尺长度可达10m(带散线)

电源

5 V ±10%,5 V时最大为250 mA(带终端)

振动(工作)

55 Hz至2000 Hz时,最大振动为100 m/s2

冲击(非工作)

1000 m/s2,6 ms,½正弦

工作温度

0 °C至+75 °C

烘焙温度(非工作)

120 °C

防护等级

IP30

电缆构造

镀银编织铜线电缆,单层屏蔽。FEP绝缘,采用镀锡铜线。

请参阅规格手册,了解详细信息。

*其他串行协议将不断添加。