增量式FS(功能安全)圆光栅第2步。TONiC™TONiC超小型20 µm光栅系统TONiC FS配用RESM20TONiC FS增量式超小型20 µm读数头配用RESM20不锈钢圆环光栅 光栅系列增量式直线光栅增量式UHV直线光栅绝对式直线光栅绝对式UHV直线光栅增量式圆弧光栅绝对式圆弧光栅增量式圆光栅增量式UHV圆光栅绝对式圆光栅绝对式UHV圆光栅绝对式ETR圆光栅 位置编码器磁编码器光栅激光尺