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光栅栅尺系列

直线栅尺

RTL(不锈钢钢带栅尺)

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

RTLF

RTLF20栅尺

20 µm:±5 μm/m

40 µm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m

20 µm/40 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最长10 m(可根据要求提供10 m以上长度)

ATOMATOM DX

RTL FASTRACK™(带码道选项的不锈钢钢带)

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

配有可选FASTRACK的RTLC

RTLC20 FASTRACK栅尺

20 µm:±5 μm/m

40 µm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m


20 µm/40 µm


10.1 ±0.2 µm/m/°C

最长10 m(可根据要求提供10 m以上长度)

VIONiCQUANTiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

配有可选FASTRACK的RTLA

RTLA FASTRACK栅尺

30 µm:±5 µm/m

50 µm:±10 µm/m


30 µm/50 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

RESOLUTE:最长21 m

EVOLUTE:最长10.02 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FSEVOLUTE

RKL(细窄型不锈钢钢带)

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

RKLC-S、RKLR-S

RKLC20栅尺

20 µm:±5 μm/m

40 µm(高精度):±5 µm/m

40 µm:±15 μm/m


20 µm/40 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长20 m(可根据要求提供20 m以上长度)

VIONiCTONiCTONiC UHVQUANTiC


RKLF-S

RKLF直线栅尺


20 µm:±5 μm/m

40 µm(高精度):±5 µm/m

40 µm:±15 μm/m

20 µm/40 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长10 m(可根据要求提供10 m以上长度)

ATOMATOM DX

RKLA-S

RKLA直线栅尺

±5 μm/m

30 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长21 mRESOLUTE

REL(ZeroMet™直线硬栅尺)

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

RELM20/RELE20

RELM RSLM栅尺

1 m内为±1 µm,1 m以上为±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最长1.5 m

VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RELA30

RELA栅尺

1 m内为±1 µm,1 m以上为±1 µm/m

30 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最长1.5 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

RSL(不锈钢直线硬栅尺)

栅尺名称

精度

栅距

20 °C时的热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

RSLM20/RSLE20/RSLC20

RELM RSLM栅尺

1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最长5 m

VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RSLA30

RELA栅尺

1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm

30 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最长5 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

RCL(玻璃直线硬栅尺)

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

RCLC

RCLC栅尺

±3 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

最长130 mm

ATOMATOM DX

圆弧栅尺

RKL(细窄型不锈钢圆弧钢带)

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀系数

供应长度

读数头兼容性

RKLC-S

RKLC圆弧栅尺

20 µm:±5 μm/m

40 µm:±15 μm/m


20 µm/40 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长20 m(可根据要求提供20 m以上长度)

VIONiCTONiCQUANTiC

RKLF-S

RKLF圆弧栅尺

±15 μm/m

40 µm

使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长10 m(可根据要求提供10 m以上长度)

ATOMATOM DX

RKLA-S

RKLA圆弧栅尺

±5 μm/m

30 µm


使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

最长21 m

RESOLUTE

圆光栅

RES(不锈钢圆光栅)

栅尺名称

刻划精度(取决于圆光栅直径)

栅距

20 ºC时的热膨胀系数

圆光栅直径


读数头兼容性

RESM

RESM-REST圆光栅(栅尺页面)

±3.97至±0.38角秒


20 µm/40 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C


52至550 mm


VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FSQUANTiC

RESA30

RESA圆光栅(栅尺页面)

±3.97至±0.38角秒


30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52至550 mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS


REX(超高精度不锈钢圆光栅)

栅尺名称

安装精度(取决于圆光栅直径)

栅距

20 ºC时的热膨胀系数

圆光栅直径


读数头兼容性

REXM20/REXT20

REXM圆光栅(栅尺页面)

(直径 ≥ 100 mm)±1角秒
(直径为75 mm)±1.5角秒
(直径 ≤ 57 mm)±2角秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52至417 mm


VIONiCTONiCTONiC UHV

REXA30

REXA圆光栅(栅尺页面)

(直径 ≥ 100 mm)±1角秒
(直径为75 mm)±1.5角秒
(直径 ≤ 57 mm)±2角秒


30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C


52至417 mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS


RCDM(玻璃码盘)

栅尺名称

刻划精度(取决于圆光栅直径)

栅距

20 ºC时的热膨胀系数

圆光栅直径


读数头兼容性

RCDM

RCDM码盘(栅尺页面)

±0.5 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

17至108 mm


ATOMATOM DX