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RLE20激光尺增强了Raith公司最新电子束光刻机的性能

Raith公司的VB300电子束光刻机是在其VB6系列的基础上研制开发的,后者于1993年上市后曾大获成功。在设计新的机器时,Raith发现,如果能够减少由噪音引起的定位误差,光刻机的性能将显著提升。通过提高设备的机械刚性,同时集成基于雷尼绍RLE20差分干涉仪的激光尺系统,这些误差现在可低至 <3 nm。

Leica Microsystems Lithography公司(总部位于英国剑桥)于1993年推出了其首款矢量光束光刻机。自上市后,该款光刻机的各种型号广泛应用于纳米技术、微机电、微光学元件、NGL掩膜制造、硅晶圆直接写入技术和电信等诸多应用领域。

VB300光刻机既能装载和曝光小至5 mm的元件,也能装载和曝光直径可达300 mm且具有相应尺寸掩膜板基板的完整晶圆。

该光刻机通过50 MHz图形发生器实现快速曝光,分辨率达20位,工作轴长为330 mm x 330 mm,最大平台速度为50 mm/sec,能够生成小于10 nm的光刻图案,总体3 sigma精度为10 nm。

为达到规定的技术指标,VB300光刻机包含以下多个方面的重要性能改进:

  • 电子束柱与样品之间的高度稳定性,
  • 柱状电子元件,
  • 以及整个系统的扭摆和滚摆性能。
案例分析: 案例分析: Raith应用

减少由噪音引起的误差

除了上述改进之外,Raith还希望减少由噪音引起的误差,特别是消除由干涉仪配置和安装方式引起的~175 Hz附近的峰值模式误差。为了解决这一问题,Raith决定将干涉仪配置从标准的双光程干涉仪改为差分干涉仪,这样便可直接测量电子束柱末级透镜和平台测量/工件定位板之间的差分位置。

由于在之前涉及RGH光栅的产品研发项目中与雷尼绍有过成功合作,Raith选择在VB300光刻机内部集成基于RLE20光纤传导激光尺的光栅系统。

研发经理John Tingay说:“我们对雷尼绍RGH光栅产品的性能极为满意,并且对RLE10激光尺系统也有所了解,虽然后者并不是很适合真空应用。出于机械性能和热稳定性的考虑,如果要将激光尺系统集成到我们当前的任何机器中,该系统必须能够在真空环境下工作。”

Raith的VME接口板

克服真空问题

“在技术讨论过程中,雷尼绍为我们提供了有关其差分干涉激光尺开发项目的信息,该激光尺不仅具有与RLE10相同的诸多优点,还可安装在真空室壁上,从而克服了RLE10无法用于真空环境的缺陷。借助差分干涉激光尺配置,安装系统的任何机械扰动(即共模误差)都可同时被参考光束和测量光束观察到,然后系统便可自动进行补偿。剩下的唯一问题就是参考镜的稳定性了,而参考镜本身具有较高的固有刚性,相应地也具有较高的振动模态。这种设计策略有助于消除在以往系统中常见的由噪音引起的误差。”

“我们的确考察过其他供应商的激光尺,但最终选择了雷尼绍系统,因为雷尼绍激光尺的安装复杂性明显降低,且安装时间大大缩短,同时系统具备光纤激光传导功能和内置光路准直系统。此外,我们还可将激光尺安装在真空室外,同时保证不会降低系统性能。幸运的是,雷尼绍还不断告知我们项目开发的各项进展,这使得我们能够参与到最终设计中,确保系统符合我们的要求。”

VB300光刻机采用雷尼绍RLE20激光尺系统,该系统包含三路差分干涉仪;两个位于X轴和Y轴上,用于测量(电子束柱和晶圆平台之间的)相对位置,第三个用于测量扭摆。Tingay说:“由于我们已通过重新设计机器结构、精选材料及改进加工技术等方法显著提高了平台的精度,因此我们认为实际上无需测量扭摆;该功能目前仅用于监控目的,未来如有必要,也可将其用于扭摆校正。”

皮米级分辨率

RLE激光尺系统可产生1 Vpp的正弦和余弦信号,每360°周期代表158 nm。为了提供VB300光刻机要求的高分辨率,这些信号通过雷尼绍RPI20并行接口进行电子细分,以提供77.2皮米的最低有效位 (LSB) 分辨率。

除了RLE系统及其光纤激光传导功能所提供的优势外,Raith还需要一个符合VME总线形状和电气标准的接口。RPI20可通过一个简单的连接器与定制电子设备集成,而这些定制电子设备提供的硬件和软件接口可有效地“克隆”Raith的现有系统,这样采集到的位置数据便可用于电子束误差反馈和位置控制。

减少导致误差的因素

相较于以往系统,对VB300的初步测试结果表明,在降低与噪音相关的误差方面,Raith取得了显著进步。为了量化自引进RLE20后误差的降低程度,Raith使用了“边缘电子束”测量法,也就是让电子束停留在金属标记的边缘,然后测量背散射电子的强度变化。之所以采用这种方法,是因为它能够测量系统内机械和电气的总体噪音,既包括电子束中的噪音,也包括监控背散射电子的视频系统中的噪音。

将VB300能谱与从VB6光刻机采集的能谱进行比较,可以看出VB300在175 Hz处没有出现峰值,而这一峰值正是Raith想要移除的一个特征。此外,240 Hz处的峰值也已消除,同时150 Hz处的特征已减弱。

Tingay说:“VB300的噪音测量结果非常好,未发现任何机械振动,我预计总体噪音大约为2 nm – 3 nm,而且没有观测到参考镜或激光尺系统对噪音的贡献。”