光栅案例分析和应用说明
案例分析 — 电子
![Lasing](/media/img/gen/77a084f1c0db4008bb4ac938bf1f95c4.jpg)
Laser Microsystems S.A.是仪器和光电子产品技术的领先者,专注于激光和精密定位领域。雷尼绍的光栅解决方案可提供更高的精度和位置校验性能。
![Stage for automatic optical inspection (AOI) of flat panel displays (FPD)](/media/img/gen/0fe566885d234416a0f18be84c7bc321.jpg)
在工业界有不少制程需要在真空环境下进行,典型应用包括显示面板中薄膜和基板之间的精密贴合制程、半导体制程中的薄膜溅镀、晶圆检测等等。VAD为了满足其精密制程设备对真空规格的严格要求,采用雷尼绍TONiC UHV光栅系统,借此提升平台的整体精度和稳定性。
![待测PCB](/media/img/gen/14341bc893864043a997442549e50be9.jpg)
在批量生产高频电子产品时需要使用性能优异的PCB阻抗测试设备。Sam-Jeong Automation是一家精密机械制造商,其采用TONiC™增量式光栅来确保其下一代PCB阻抗测试设备足以满足更为严苛的速度、精度和重复性要求。
![Scodix Ultra™增强型数码印刷机](/media/img/gen/2b90564fb26143409f1f740c1fd1fc0e.jpg)
Scodix公司是图文印刷领域领先的数码印刷设备供应商,该公司选择了雷尼绍TONiC光栅作为现成的解决方案。该光栅系列可帮助Scodix公司获得专利的Ultra系列印刷机的材质传输系统实现自动反馈控制。
![平板显示器](/media/img/zh/3e39ac99736649be82ac4805745476d7.jpg)
TPC Motion(简称TPC)是一家韩国知名的运动控制组件生产商,其开发的光学间隙平台 (Optical Slit) 采用多轴雷尼绍ATOM™系列微型直线光栅系统,
![Thorlabs全套设备特写](/media/img/gen/8b3c6e03defa405cae20e3ee6d9c1720.jpg)
Thorlabs公司设计和制造多种光电设备:在Thorlabs最近完成的一系列内部测试中,雷尼绍光栅的每一项测试结果都比竞争产品更胜一筹,基于此原因,Thorlabs决定选用TONiC系列光栅来装备其Thorlabs DDS600 600 mm长行程平台和MLS203显微镜平台。
![RSS ITRI case study](/media/img/gen/98bf4dfb4506484897379d01cef00b59.jpg)
ITRI — 台湾工业研究院(简称工研院)看准未来市场的庞大需求,自主开发了双轴转台,配置雷尼绍RESOLUTE系列绝对式圆光栅,通过Panasonic串行协议连接到内部开发的控制器上,协助业界开发具竞争力的转台方案。
![RSS image: Wire bonding on a silicon chip](/media/img/gen/47d1a47b63e5459f9048561afe5ebb48.jpg)
全球最大的半导体集成和封装设备制造商ASM太平洋科技有限公司 (ASM Pacific Technology Ltd),多年来致力于开发先进的设备和全面的工业自动化方案,以不断满足业界在封装制程上的各种需求。
![RSS image: ALIO Industries' nano-motion stage - True Nano™ motion system - with TONiC optical encoders](/media/img/gen/c6db5ef597104c1a8361459297f69ab3.jpg)
ALIO Industries以其生物医学、半导体和光伏应用的纳米运动平台闻名,该公司依赖雷尼绍光栅为其True Nano™运动系统解决方案提供所需的精度和可重复性。
案例分析 — 精密制造
![KOVERY linear motor](/media/img/gen/25e03dd8c1bd4d26a360ddf954ab4ec6.jpg)
恒速控制对于许多先进的工业过程来说至关重要,但传统的电机设计会产生齿槽力,导致电机速度出现纹波。KOVERY Inc设计的先进直线电机集成了雷尼绍光栅,可完美解决这一难题。
![雷尼绍TONiC系列高性能光栅系统](/media/img/gen/9d60ff83d35449f98d9f25cfc0cd4373.jpg)
北京华卓精科科技股份有限公司(以下简称华卓精科)是中国国内从事精密制程核心装备的领先者,他们开发的半导体设备和运动平台采用雷尼绍多款高性能光栅系统,是半导体设备实现国产化的重要一员。
![JUSTEK JTR49 series DDR motor](/media/img/gen/5971731348114d5893b28f3e336234fa.jpg)
运动控制零组件作为制程设备核心组件之一,是决定每段制程精度是否能达目标的关键因素之一。JUSTEK Inc.是一家位于韩国京畿道的领先运动控制部件制造商,其研发的多款特制核心直驱电机深受面板和半导体/电子行业制造设备OEM厂商的欢迎,这些电机均采用了雷尼绍高性能光栅。
![Index angle measurement with Renishaw’s XR20-W](/media/img/gen/8b22ed33775640269ec65c36a2b360ea.jpg)
数控转台对多轴加工中心的性能起着举足轻重的作用。在机床的整个生命周期中,转台的精度和可靠性是机床制造商关注的首要问题,为此Matsumoto Machine Corporation借助更为先进的机器校准和光栅测量产品,减少了分度误差并提升了产品性能。
![DUKIN技术部门经理 Mr. Ku Tae Young](/media/img/gen/95b6ca7364914b8793c98f2544045472.jpg)
经过多年来测量技术的不断发展,现今先进的坐标测量机 (CMM) 已能够准确测量工件的尺寸以及通过扫描采集工件的表面数据。位于韩国的DUKIN公司,多年来与雷尼绍合作无间,在市场上推出多款配置雷尼绍高性能光栅系统的先进坐标测量机,为业界提供快速、高性价比以及稳定可靠的质量监控方案。
![SOLPOWER](/media/img/gen/eb4b60eeff8f40b99caa0a86bde46b3d.jpg)
SOLPOWER是一家专业生产各类机床用组件的台湾制造商,产品种类涵盖直驱 (DD) 旋转工作台、一体式主轴电机和直线电机等。雷尼绍的RESOLUTE绝对式光栅可为直驱产品提供高性能反馈控制解决方案。
![ATOM encoders installed on the REVO-2 measuring head: two readheads are used to correct for scale eccentricity.](/media/img/gen/01f4355697fd4b5fbbe730068b281911.jpg)
REVO-2是雷尼绍为坐标测量机 (CMM) 应用提供的革命性多类型传感器五轴测座系统的升级版本,它的两条轴(扭摆和俯仰)均配有雷尼绍ATOM增量式光栅和RCDM圆光栅玻璃码盘,具有一流的精度和速度。
![COORD-3 manufactures its CMM structures from aluminium alloy and silicon-carbide offering maximum metrology performance and productivity](/media/img/gen/f80f1f513122410589b4ddac517e0a8a.jpg)
凭借持续的产品开发、扁平化的组织架构和丰富的产品型号,COORD-3已成为坐标测量机领域的一个全球品牌。雷尼绍长期向COORD-3提供各种精密测量产品,双方均受益于这种良好的合作关系。
![Amicra Nova](/media/img/en/af6c7b2303904150978f76d4e95e1e98.jpg)
雷尼绍的RESOLUTE™光栅是一款创新型、真正的绝对式测量系统,能够为微电子和微光学行业的精密装配系统应用提供最高的制程可靠性保证。
![Steinmeyer-FMD’s new air bearing gantry LLP without cover](/media/img/gen/56a5cad44bdb42e3817f957e734775ee.jpg)
运动系统设计师通常要在速度和精度之间取得一个平衡,但借助雷尼绍的高性能TONiC™增量式光栅,Steinmeyer-FMD的新型精密多轴空气轴承龙门系统成功克服了这个取舍难题。
案例分析 — 科研分析
![Wise天文台的主力天文望远镜](/media/img/gen/1b298884ad6a487cb362ac59021ce5f5.jpg)
Wise天文台最终选择使用RESOLUTE™光栅更换其一米口径Ritchey-Chrétien主力天文望远镜的两个定位轴上的老旧光栅,从而显著提升了望远镜的定位精度和位置稳定性。
![具备非真空和真空运动平台的反射镜工作台](/media/img/gen/f4cccd85a25d4417a7311692bdf5bc0f.jpg)
IRELEC Alcen公司是一家法国科技公司,主营为全球同步加速器设施制造光学机械系统和机器人系统。IRELEC专业生产用于将X射线聚焦在靶点上的定制反射镜系统。雷尼绍的位置测量产品持续帮助IRELEC推动同步加速器科学的发展。
![SYMETRIE IA DEA六轴机器人](/media/img/gen/c3f8c98aea124010a7feb88047ba26cb.jpg)
雷尼绍RESOLUTE光栅已应用在SYMÉTRIE的地面集成和校准支持 (GICS) 六轴机器人及干涉测量组件检测电子元件总成 (IA DEA) 六轴机器人上;这些六轴机器人专为在Meteosat第三代 (MTG) 气象卫星的制造过程中,对先进组件进行验证测试而设计。
![RSS image: Instron E3000 linear-torsion tester](/media/img/gen/eb06b47b11d143bb9867b5650d628279.jpg)
Instron不久前发布了其ElectroPuls™ E3000全电气化测量设备的先进的双轴型号。雷尼绍的RESOLUTE™作为支持ElectroPuls控制器的唯一绝对式光栅,能够满足所有规格标准 — 在速度超过20 m/s时线性分辨率仍可达1 nm。
![Banner image: Astroimage from Astrosystem Austria using TONiC encoder](/media/img/gen/afb9c984597a452780918a419206eacd.jpg)
数字化时代引领天文摄影实现了“量子飞跃”,将遥远的星系瞬间移动到专业天文学家和天文台眼前。Astrosysteme Austria (ASA) 公司在望远镜支架上搭载雷尼绍技术,为天文学发烧友提供经济实惠的天文观测和摄影设备。
案例分析 — 航空航天
![飞机起落架上的PAS天线和万向节组件](/media/img/gen/bc4ac20e47234683b82711e663f75579.jpg)
Pacific Antenna Systems (PAS) 公司根据具体应用场合在天线中采用多种不同的机电设计。每个运动轴(万向节)上都安装旋转位置编码器,以满足准确度和精度要求。
![HAESL engine overhaul workshop](/media/img/gen/bc11d5b6ec5f4a629c3b2f4dccfd9be0.jpg)
一架飞机的耗油量到底有多大?蜂窝密封环 (Honeycomb Seal Ring) 已被证明能有效优化航空发动机的燃油效率,然而,测量这种密封环带来一些困难的工程挑战。现在,HAESL — 香港航空发动机维修服务有限公司成功地解决了这一难题:其新型SRMS (Seal Ring Measurement System) 光学蜂窝密封环检测系统通过集成雷尼绍的高性能TONiC增量直线光栅和圆光栅,提供精准和可靠的位置反馈。
案例分析 — 医疗保健
![切片上的病理组织样品](/media/img/gen/b5b03ab41f1845589f077a7c9132acba.jpg)
3DHISTECH公司设计和生产了世界上运行速度最快、通量最高的全自动全视野数字切片扫描仪 — P1000。它是一台高精度扫描显微镜,大型病理学实验室可以用它采集医学样品切片的超高分辨率图像。雷尼绍的VIONiC™光栅和LA11磁编码器不仅保证了设备的精度和重复性,而且提高了P1000的运行速度,使其性能远超同类产品。
应用说明
![Machine tool with the FORTiS encoder](/media/img/gen/338cede52f1642df81f930d85086a100.jpg)
FORTiS封闭式光栅旨在满足机床原始设备制造商 (OEM)、最终用户和服务提供商的需求。两份新发布的应用说明直接面向这些重要的市场参与者,介绍了FORTiS系列光栅的各种特性和优点。
![SMT machine, Woodchester](/media/img/gen/ee0fe565b88748caa12d447fae657eb8.jpg)
本应用说明探讨了表面安装技术 (SMT) 应用,并列举了直线钢质栅尺(不受安装基体的热胀冷缩所影响)可能比当前广泛采用却较为昂贵的热膨胀几乎为零的栅尺更加适合SMT应用的例子。
![Computer processor wafer macro](/media/img/gen/e354d8a2ce4b4c35904d5b8f24293ade.jpg)
本文探讨了位置反馈技术在现代光刻工艺中的应用,以及最新光栅系统和传统激光尺系统各自的优势与潜能,这些特性为机器设计人员提供了极大的灵活性,使其能够探索如何在不影响性能的前提下最大程度地减少光刻设备的占地面积。
![屋顶太阳能电池板](/media/img/gen/835f645cc2d047a3aa9d38f5fefb4059.jpg)
太阳能在未来很可能成为人类最主要的电力来源,在蓬勃发展的背景下,光伏产业链的参与者拥有着诸多商机。光伏太阳能电池生产过程的每一环节都需要用到运动控制技术。本文探讨了光栅和运动控制技术在太阳能电池的不断发展和进化中所发挥的作用。
![VIONiC数字一体化光栅系列](/media/img/gen/440552dea7454ec3a4f5814e5b5d0035.png)
雷尼绍VIONiC™系列光栅是超高精度、超小型的一体化数字增量式光栅。本文阐述了此高性能光栅系统在高精度运动控制应用,尤其是微型制造、微定位和精密光学元件制造等领域中发挥的重要作用。
![配有板载RESOLUTE™光栅的ACS测试平台](/media/img/gen/b3ad6a9bf12f4cdb926de5c995aef3dc.jpg)
在整机设计环境下评估光栅性能时,控制环架构是一个重要的考虑因素。有很多种方法可消除精密运动平台设计中导致平台稳定性变差的因素。本文阐述了雷尼绍RESOLUTE™光栅在此类应用中的潜力 — 传统上只有超细栅距增量式光栅才可胜任此类要求。
![回转轴上配备RESOLUTE绝对式圆光栅的FANUC机械臂(图片版权归FANUC所有)](/media/img/gen/ab9acbc92e9649d79ce0776cdfda7b4c.jpg)
RESOLUTE FS(功能安全)光栅系统不仅一如既往地为客户带来RESOLUTE系列优异的测量性能,而且其符合全球最严格的功能安全标准要求,可使客户更加安心无忧。如今,RESOLUTE光栅系列最新的应用领域已包括协作机器人和工业制造技术等。
![LiDAR scanning in action (no text)](/media/img/gen/3f3bc2cc7cb340048c29be74dff6001e.jpg)
全球众多从事激光遥感遥测设备制造的厂商开发的车载LiDAR激光扫描仪均采用了雷尼绍光栅,其中一些更同时搭配雷尼绍高性能ATOM™和TONiC™光栅系统,为测绘行业提供精密准确的坐标数据。