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激光尺接口

适合高分辨率应用的灵活激光接口。

RPI30并行接口

RPI30可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号,通过4096细分,并以并行格式提供输出信号,最多可提供36位的位置数据。当与双光程平面镜干涉仪系统 (PMI)(正弦波的基本周期名义值为158 nm)结合使用时,在速度高达2 m/s的情况下,最低有效位 (LSB) 也可达38.6皮米。

可启用主动利萨如修正以补偿激光尺的DC偏置和AC失配,从而在低速条件下将电子细分误差 (SDE) 减少到±0.1 nm。

RPI30快速并行接口

特性与优点

  • 高精度 — 低SDE影响 (±0.1 nm)。
  • 主动SDE修正 — 减少位置测量中的误差。
  • 位置数据 — 通过并行总线将来自RLE的1 Vpp模拟正交信号转换为位置读数。
  • 主动更新 — DC偏置和AC失配。
  • 易于访问 — 用于远程下载和分析的诊断连接。
  • 多轴解决方案 — 通过LVTTL (3.0 V) 兼容总线输出两轴的位置和状态。
  • 通信协议 — 位置数据为36位(二进制补码字),并可选择LSB。
  • 实时状态 — 包括信号强度和错误标记。

规格

平面镜系统
角锥反射镜系统
分辨率38.6、77.2、154.4或308.8 pm77.2、154.4、308.8或617.6 pm
最高速度2 m/s4 m/s
输出信号36位(二进制补码)36位(二进制补码)
SDE*影响(不包括RLE,未启用修正)平面镜 — PMI角锥反射镜 — RRI
速度 < 50 mm/s (PMI)
速度 < 100 mm/s (RRI)
信号强度 > 25%
< ±0.5 nm< ±1.0 nm
速度 > 50 mm/s且 < 2 m/s
速度 > 100 mm/s且 < 4 m/s
< ±2.0 nm< ±4.0 nm
*非线性误差
SDE*(包括RLE,已启用修正)平面镜 — PMI角锥反射镜 — RRI
速度 < 50 mm/s (PMI)
速度 < 100 mm/s (RRI)
信号强度 > 50%
< ±0.1 nm< ±0.2 nm
*非线性误差

RPI20并行接口

RPI20可转换来自RLE激光尺系统的1 Vpp模拟正交信号,从而提供超高分辨率(4096x 细分)的并行数据格式的位置反馈。

RPI20并行接口(符合RoHS要求)

特性与优点

  • 高分辨率 — 对模拟正交信号高达4096x的细分。
  • 多轴解决方案 — 1条总线可支持7根轴。
  • 快速通信 — 具有 <6.5 MHz的输入带宽和36位的并行格式输出。
  • 高精度 — 低SDE影响 (±0.5 nm)。

可选双轴VME母板,可使RPI20用于VME系统架构。

规格

分辨率38.6皮米(平面镜系统)
77.2皮米(角锥反射镜系统)
最高速度1 m/s(平面镜系统)
2 m/s(角锥反射镜系统)
输出信号36位并行数据

PMI

PMI

RRI

RRI

速度

<50 mm/s

<1 m/s

<100 mm/s

<2 m/s

SDE*

0.5 nm

2 nm

1 nm

4 nm

*非线性误差

RLI20-P激光接口 — Panasonic

RLI20-P可作为雷尼绍激光尺系统与Panasonic控制器 (MINAS A5-SERIES) 之间的接口。来自激光尺的1 Vpp模拟正交信号通过高速细分盒,然后被输出为RS485格式的增量位置读数。

RLI20-P激光接口 — Panasonic

特性与优点

  • Panasonic功能 — 直接与Panasonic控制器 (MINAS A5-SERIES) 兼容。
  • 快速通信 — 高速内部位置更新速率 (100 MHz)。
  • 高精度 — 低SDE影响 (±0.5 nm)。

规格

分辨率1 nm(平面镜系统)
2 nm(角锥反射镜系统)
最高速度1 m/s(平面镜系统)
2 m/s(角锥反射镜系统)
输出信号2.5 Mbps RS485,与Panasonic
MINAS A5系列控制器兼容

PMI

PMI

RRI

RRI

速度

<50 mm/s

<1 m/s

<100 mm/s

<2 m/s

SDE*

0.5 nm

2 nm

1 nm

4 nm

*非线性误差

RSU10 USB接口

RSU10 USB接口可接收来自RLE系统的1 Vpp正弦/余弦信号,通过x16,384细分,并通过USB端口输出位置读数。

使用RSU10可使测量数据与雷尼绍成熟的校准软件包(LaserXLQuickViewXL)兼容。对于需要查看和分析实时动态测量数据的用户来说,这无疑是一套理想的解决方案。

每一个RSU10均随附软件开发包 (SDK),最大更新速率为20 Hz,可允许开发具有特定功能的软件。

RSU10 USB接口

特性与优点

  • 高分辨率 — x16,384细分在1 m/s的速度下提供9.64皮米的信号分辨率。
  • 灵活的软件 — 与成熟的校准软件包兼容并提供灵活的雷尼绍软件开发包。
  • 自动数据采集 — TPin触发输入功能允许RSU10在接收到外部生成的信号时,开始采集数据。

规格

分辨率9.64皮米(平面镜系统)
19.28皮米(角锥反射镜系统)
最高速度1 m/s(平面镜系统)
2 m/s(角锥反射镜系统)
最大更新速率50 kHz(使用SDK时为最大20 Hz)

PMI

PMI

RRI

RRI

速度

<50 mm/s

<1 m/s

<100 mm/s

<2 m/s

SDE*

3 nm

4 nm

6 nm

8 nm

*非线性误差

产品信息