激光尺接口
适合高分辨率应用的灵活激光接口。
RPI30并行接口
RPI30可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，通过4096细分，并以并行格式提供输出信号，最多可提供36位的位置数据。当与双光程平面镜干涉仪系统 (PMI)（正弦波的基本周期名义值为158 nm）结合使用时，在速度高达2 m/s的情况下，最低有效位 (LSB) 也可达38.6皮米。
可启用主动利萨如修正以补偿激光尺的DC偏置和AC失配，从而在低速条件下将电子细分误差 (SDE) 减少到±0.1 nm。
特性与优点
- 高精度 — 低SDE影响 (±0.1 nm)。
- 主动SDE修正 — 减少位置测量中的误差。
- 位置数据 — 通过并行总线将来自RLE的1 Vpp模拟正交信号转换为位置读数。
- 主动更新 — DC偏置和AC失配。
- 易于访问 — 用于远程下载和分析的诊断连接。
- 多轴解决方案 — 通过LVTTL (3.0 V) 兼容总线输出两轴的位置和状态。
- 通信协议 — 位置数据为36位（二进制补码字），并可选择LSB。
- 实时状态 — 包括信号强度和错误标记。
规格
| 平面镜系统 | 角锥反射镜系统 | |
| 分辨率 | 38.6、77.2、154.4或308.8 pm | 77.2、154.4、308.8或617.6 pm |
| 最高速度 | 2 m/s | 4 m/s |
| 输出信号 | 36位（二进制补码） | 36位（二进制补码） |
| SDE*影响（不包括RLE，未启用修正） | 平面镜 — PMI | 角锥反射镜 — RRI |
| 速度 < 50 mm/s (PMI) 速度 < 100 mm/s (RRI) 信号强度 > 25% | < ±0.5 nm | < ±1.0 nm |
| 速度 > 50 mm/s且 < 2 m/s 速度 > 100 mm/s且 < 4 m/s | < ±2.0 nm | < ±4.0 nm |
| SDE*（包括RLE，已启用修正） | 平面镜 — PMI | 角锥反射镜 — RRI |
| 速度 < 50 mm/s (PMI) 速度 < 100 mm/s (RRI) 信号强度 > 50% | < ±0.1 nm | < ±0.2 nm |
RLI20-P激光接口 — Panasonic
RLI20-P可作为雷尼绍激光尺系统与Panasonic控制器 (MINAS A5-SERIES) 之间的接口。来自激光尺的1 Vpp模拟正交信号通过高速细分盒，然后被输出为RS485格式的增量位置读数。
特性与优点
- Panasonic功能 — 直接与Panasonic控制器 (MINAS A5-SERIES) 兼容。
- 快速通信 — 高速内部位置更新速率 (100 MHz)。
- 高精度 — 低SDE影响 (±0.5 nm)。
规格
| 分辨率 | 1 nm（平面镜系统）2 nm（角锥反射镜系统） |
| 最高速度 | 1 m/s（平面镜系统） 2 m/s（角锥反射镜系统） |
| 输出信号 | 2.5 Mbps RS485，与Panasonic MINAS A5系列控制器兼容 |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50 mm/s | <1 m/s | <100 mm/s | <2 m/s |
| SDE* | 0.5 nm | 2 nm | 1 nm | 4 nm |
RSU10 USB接口
RSU10 USB接口可接收来自RLE系统的1 Vpp正弦/余弦信号，通过x16,384细分，并通过USB端口输出位置读数。
使用RSU10可使测量数据与雷尼绍成熟的校准软件包（LaserXL和QuickViewXL）兼容。对于需要查看和分析实时动态测量数据的用户来说，这无疑是一套理想的解决方案。
每一个RSU10均随附软件开发包 (SDK)，最大更新速率为20 Hz，可允许开发具有特定功能的软件。
特性与优点
- 高分辨率 — x16,384细分在1 m/s的速度下提供9.64皮米的信号分辨率。
- 灵活的软件 — 与成熟的校准软件包兼容并提供灵活的雷尼绍软件开发包。
- 自动数据采集 — TPin触发输入功能允许RSU10在接收到外部生成的信号时，开始采集数据。
规格
| 分辨率 | 9.64皮米（平面镜系统） 19.28皮米（角锥反射镜系统） |
| 最高速度 | 1 m/s（平面镜系统） 2 m/s（角锥反射镜系统） |
| 最大更新速率 | 50 kHz（使用SDK时为最大20 Hz） |
PMI | PMI | RRI | RRI | |
| 速度 | <50 mm/s | <1 m/s | <100 mm/s | <2 m/s |
| SDE* | 3 nm | 4 nm | 6 nm | 8 nm |
产品信息
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