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RLD10差分干涉仪

差分干涉仪允许测量相对于定义参考对象的位置变化。

差分发射头具有独特的光学设计，可实现极低的SDE性能。内置的激光准直辅助镜可在设定过程中实现俯仰和扭摆角度调整，从而改进准直过程（仅适合平面镜应用）。

RLD10-X3-DI发射头可通过一个简单的三针固定架安装在工作腔的外墙上。无需进入工作腔即可校正光路，内置激光准直辅助镜可对参考和测量光束的俯仰和扭摆进行独立的调整，安装系统的设计允许拆卸发射头和调整发射头位置，对系统准直的影响极小。

特性与优点

  • 优异的测量性能 — ppb稳频精度，超低周期误差，输出分辨率达到38.6 pm。
  • 差分配置 — 测量运动平台相对于安装立柱的位移，从而消除常见模式误差，例如与环境波动有关的工作区侧壁移动。
  • 快速调节准直 — 采用四个内置激光准直辅助镜，很简单地在真空室外部进行准直调整，从而消除真空室和镜组安装公差。

规格

轴行程0 m - 1 m
分辨率（使用RLU配置）模拟正交 = λ/4 (158 nm)
数字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系统非线性误差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/s且信号强度 > 70%时 <±1 nm
1 m/s且信号强度 > 50%时 <±6 nm
最高速度最高可达1 m/s
通常使用雷尼绍RLU20来配置差分干涉仪发射头。RLU20激光源的高稳定性结合差分干涉仪发射头的高性能，必将成为真空室和其他空调严格控制环境中的应用的理想选择。

产品信息

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