增量式UHV直线光栅第2步。从下列增量式UHV(超高真空)直线光栅系列中选择:TONiC™ UHVTONiC UHV超小型20 µm光栅系统TONiC UHV配用RTLC20TONiC UHV(超高真空)增量式超小型20 µm读数头配用RTLC20直线不锈钢钢带栅尺。背面自带不干胶,可直接安装至基体,也可以使用FASTRACK™导轨完成安装。还提供多种可选接口。TONiC UHV配用RKLC20-STONiC UHV(超高真空)增量式超小型20 µm读数头配用RKLC20-S细窄型直线不锈钢钢带栅尺。栅尺安装在基体上并随基体伸缩,测量性能优异TONiC UHV配用RELM20TONiC UHV(超高真空)增量式超小型20 µm读数头配用RELM20 ZeroMet™低热膨胀系数 (CTE) 直线硬栅尺和多种可选接口TONiC UHV配用RSLM20TONiC UHV(超高真空)增量式超小型20 µm读数头配用RSLM20不锈钢直线硬栅尺和多种可选接口 光栅系列增量式直线光栅增量式UHV直线光栅绝对式直线光栅绝对式UHV直线光栅增量式圆弧光栅绝对式圆弧光栅增量式圆光栅增量式UHV圆光栅绝对式圆光栅绝对式UHV圆光栅绝对式ETR圆光栅 位置编码器开放式光栅封闭式光栅激光尺磁编码器