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RLD10无内置光学镜干涉仪

将雷尼绍独创的光纤传导系统的性能和易用性与特定于应用的光学镜组配置相结合。

RLD包含独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜,因此轻松成为专业应用的理想选择。

RLD10-XX发射头只有0°型号。

特性与优点

  • 自定义光学解决方案 — 由于不包含内置光学镜,因此可配置RLD使用外部光学镜以满足一系列应用的要求。
  • 校准测量 — 适合使用雷尼绍校准光学镜组系列,从而实现直线度、角度和线性测量。
  • 真空兼容 — 还与RVI20兼容,可进行两个特征之间的相对测量。

规格

平面镜应用角锥反射镜应用
轴行程0 m至1 m0 m至4 m
分辨率(使用RLU配置)模拟正交 = λ/4 (158 nm)
数字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm
模拟正交 = λ/2 (316 nm)
数字正交 = 20 nm
RPI20分辨率 = 77.2 pm

系统非线性误差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/sec且信号强度 > 70%时 <±2.5 nm
1 m/sec且信号强度 > 50%时 <±7.5 nm
低于100 mm/sec且信号强度 > 70%时 <±5 nm
2 m/sec且信号强度 > 50%时 <±13 nm
最高速度可达1 m/sec可达2 m/sec

产品信息