RLD10无内置光学镜干涉仪
将雷尼绍独创的光纤传导系统的性能和易用性与特定于应用的光学镜组配置相结合。
规格
平面镜应用 | 角锥反射镜应用 | |
轴行程 | 0 m至1 m | 0 m至4 m |
分辨率(使用RLU配置) | 模拟正交 = λ/4 (158 nm) 数字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm | 模拟正交 = λ/2 (316 nm) 数字正交 = 20 nm RPI20分辨率 = 77.2 pm |
系统非线性误差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信号强度 > 70%时 <±2.5 nm 1 m/s且信号强度 > 50%时 <±7.5 nm | 低于100 mm/s且信号强度 > 70%时 <±5 nm 2 m/s且信号强度 > 50%时 <±13 nm |
最高速度 | 可达1 m/s | 可达2 m/s |