利用拉曼光谱分析半导体

表征半导体

您可以使用拉曼光谱对所有半导体（例如硅 (Si)、碳基材料、III-V族和聚合物）和超导体进行表征和成像。拉曼分析可揭示丰富的信息，包括：

• 化学组成（例如，化合物半导体的合金成分）
• 多型体（例如，4H-SiC和6H-SiC）
• 应变/应力
• 掺杂浓度
• 薄膜厚度
• 晶体的结构类型和取向
• 晶体质量
• 均匀度和纯度
• 器件温度

分析简单

拉曼分析简单易行，因为无需样品制备。它不需要真空技术，也不会受到使用电子显微镜时所产生的充电效应的影响。

雷尼绍可以根据您的需求将拉曼系统配置为适合所有用户，无论是科研人员还是技术人员。

大面积分析
雷尼绍拉曼系统能够分析大面积样品。例如，您可以生成整个晶圆的图像，以发现污染物或残留应力。

PL表征
雷尼绍的拉曼系统还能够采集和分析光致发光 (PL) 光谱。您可以在一台仪器上采集振动信息和电子信息。

在线系统
在您的生产线上部署雷尼绍的拉曼系统，可执行在线分析实现质量控制。这样可以尽早诊断问题，从而减少浪费、提高产出。

可靠的结果
雷尼绍拉曼系统能够生成准确反映样品的高度可重复的数据。内置自动校准和自检功能，可确保无论何时采集到的数据都能准确无误地进行比较。