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配有RKLC20-S直线栅尺的TONiC™ UHV增量式光栅系统

特性

  • 读数头尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
  • 分辨率达1 nm
  • 速度达10 m/s
  • 模拟或数字输出
  • 超低电子细分误差 (SDE):通常 < ±30 nm
  • 客户可选择的光学IN-TRAC™参考零位

优点

  • 超高真空 (UHV)
  • 栅尺细窄,宽度仅为6 mm,适合狭小空间应用
  • 栅尺随基体伸缩,测量性能优异
  • 超紧凑型光栅,具有动态信号调节功能,运动控制性能优异
  • 应用灵活,可按需裁剪
  • 抗污和抗溶剂腐蚀能力强
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什么是TONiC UHV?

TONiC UHV是雷尼绍推出的超紧凑型非接触式光栅系统,适合超高真空应用,运动控制性能优异。

TONiC的速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在直线和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差宽松,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常 < ±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。

什么是RKLC20-S栅尺?

RKLC20-S是一款细窄、轻薄、小巧的不锈钢钢带栅尺,具有20 µm栅距的增量式刻线和用户可选择的IN-TRAC参考零位。精度达±5 µm/m,长度最大可达20米(可根据要求提供20 m以上长度)。将RKLC20-S栅尺末端牢固地固定到基体上之后,栅尺可随机器基体一同伸缩,从而实现优异的测量性能。

为什么选择这种光栅系统?

超高真空 (UHV)

TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能,而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺,因此适合用于低至10-10 Torr的超高真空条件。

TONiC UHV系列光栅及附件由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低,进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境,适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。

尺寸小,但可靠性和性能极佳

TONiC读数头采用第三代光学滤波系统,噪声(抖动)更低,包括自动增益控制和自动偏移量控制在内的动态信号处理使其功能更强大,因此具有极佳的可靠性和抗污染能力以及稳定的性能。这种组合全部集成到读数头内部,可提供无与伦比的信号纯度和超低的电子细分误差(通常 < ±30 nm)。因此,实现了平稳的速度控制,并且扫描性能和位置稳定性都获得提高;对许多应用来说,基本参数都包含在一个紧凑型读数头中。

细窄、坚固、耐用的通用型栅尺

RKLC是一款细窄、坚固、耐用的不锈钢钢带栅尺,宽度仅6 mm,厚度仅0.15 mm。栅尺牢固地固定到机器轴上之后,将以机器基体的热膨胀系数和特性随基体一同伸缩,这样便尽可能减少了栅尺与机器之间的移动差值。

IN-TRAC光学参考零位直接刻划在栅尺的增量式刻度标记上,可提供指示位置,以便实现自动调相。这款栅尺尺寸小巧,适合狭小空间应用。RKLC钢带栅尺具备不锈钢材质固有的机械和化学强度,精度高达±5 µm/m;栅尺成卷供应,存放方便;并可按需裁剪,应用灵活。

接口选项

TD(双分辨率)接口

  • 可选双分辨率正交输出。Ti接口(方形)
  • 非常适合要求高速运动及高精度移动的应用。

DOP(双输出)接口

  • 提供同步的数字方波和1 Vpp信号。
  • 设计用于需要将一个或多个操作与运动轴同步的应用场合。TONiC双输出 (DOP) 接口

可选诊断组件

TONiC™诊断组件(软件和硬件)

TONiC诊断软件可用于优化TONiC光栅的安装,并提供快速全面的系统校准方案。该软件必须与TONiC诊断硬件配合使用,硬件可向雷尼绍购买(订货号为A-9411-0011)。该硬件内嵌至客户端电子设备,或通过USB电缆(组件中提供)连接至计算机。

了解有关TONiC诊断组件的详细信息。

技术规格

测量标准

背面自带不干胶带的细窄不锈钢钢带栅尺,可直接安装至基体

读数头尺寸 (LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

栅距

20 μm

热膨胀系数

将栅尺端部牢固地固定到基体上之后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致

20 °C时的精度等级

±5 μm/m

参考零位

IN-TRAC参考零位直接刻划在RKLC-S栅尺上

选择器磁体用于识别选定的参考零位

限位开关

单限位或双限位(订货时选择)

栅尺长度

最长20 m(可根据要求提供20 m以上长度)

栅尺形状 (H x W)0.15 mm x 6 mm(含不干胶带)

最高速度

模拟

数字

(详见规格手册)

-3 dB时可达10 m/s

最高可达10 m/s

电子细分误差 (SDE)

通常 < ±30 nm

动态信号控制

实时信号调节,包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC),可在操作期间实现性能优化

增量信号

模拟

数字


1 Vpp(周期为20 µm)

分辨率从5 μm至1 nm

电气连接

电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型连接器(直接连接至TONiC接口)

电源

5 V ±10%,< 100 mA(模拟系统),< 200 mA(数字系统)(无终端)

振动(工作)

55 Hz至2000 Hz时,最大振动为100 m/s2

冲击(非工作)

500 m/s2,11 ms,½正弦,3轴

工作温度(系统)

0 °C至+70 °C

烘焙温度(非工作)120 °C(仅限读数头和栅尺)

防护等级

读数头:IP20

接口:IP20

电缆构造镀锡编织铜线电缆,单层屏蔽,带FEP绝缘

请参阅规格手册,了解详细信息。