多自由度 (M-DoF) 光栅系统
多自由度 (M-DoF) 光栅系统可测量多达六个自由度 (6DoF)。了解雷尼绍独有的 RXMA 1.5D 栅尺所支持的多自由度 (M-DoF) 测量技术，如何为动态运动应用提供高性能的位置测量能力。
动态运动应用的精密控制
雷尼绍研发的真正绝对式多自由度 (M-DoF) 光栅系统，配备一根或多根 RXMA 1.5D 栅尺，与获市场验证的 RESOLUTE™ 绝对式光栅读数头配套使用。这一组合实现了先进的多自由度 (M-DoF) 位置测量，无需增量式光栅系统通常所需的耗时的回零循环过程。RXMA 绝对式栅尺采用低膨胀基体材料，具有出色的热稳定性。
为高性能应用而生
雷尼绍的绝对式多自由度 (M-DoF) 光栅系统非常适合用于高性能运动系统。半导体行业使用的高动态应用如 XY 平台等，对精度与重复性的要求极为严格，以满足行业的高质量与效率需求。通过测量每条轴上的多个自由度，机器制造商能够动态测量线性导轨直线度等各类误差来源。雷尼绍的多自由度 (M-DoF) 光栅系统可在运行过程中对由此产生的平移和旋转误差执行实时补偿，有助于保持制程能力并提升零部件良品率。
真正的 X 轴和 Y 轴测量
RXMA30 栅尺带有两组正交的刻线图案，可在 X、Y 两个轴向实现直接位置测量。对主要线性自由度进行独立测量能够带来实质性的测量优势。例如，在 Y 轴方向的测量不会受到通常较长的 X 轴方向热膨胀的影响。
易于实现电气与机械集成
雷尼绍的多自由度 (M-DoF) 测量方案将独立的轴结合测量，简便地实现与控制回路的集成。对 X 轴与 Y 轴进行直接测量更容易处理信号，并可兼容多种串行接口。
机器设计员可根据具体应用需求灵活布置读数头位置，因为各个读数头彼此独立运行，互不干扰。同时，端部出线与侧出线的电缆配置方式可按需组合使用，有助于简化各轴的布线工作。
绝对式多自由度 (M-DoF) 光栅系统：读数头和栅尺
多自由度 (M-DoF) 光栅系统由至少一根 1.5D 栅尺和两个或更多个读数头组成。绝对式读数头和栅尺组合的最长栅尺长度如下所示：
RESOLUTE™ 读数头 （30 µm 栅距） 精准测量 高速 |
RXM 多自由度 (M-DoF) 栅尺 1.5D 玻璃直线硬栅尺 低膨胀 高重复精度 X 轴 = 350 mm Y 轴 = 4 mm |
雷尼绍的完整多自由度 (M-DoF) 测量解决方案
雷尼绍作为您高性能运动系统的测量合作伙伴，凭借多元的技术，为您的特定应用需求提供精准支持。
雷尼绍提供多种多自由度 (M-DoF) 测量解决方案：激光干涉仪、光栅以及激光尺产品。
- XM‑60 和 XM‑600 多光束激光干涉仪帮助制造商测量六个自由度中的误差，从而建立高度精确的制程基础。
- 多自由度 (M-DoF) 绝对式光栅解决方案确保卓越的位置测量与监测能力，从而维持机器的最佳运行性能。
- RMAP 多光路集成镜将三个激光干涉仪发射头结合在一起，可用于测量高性能 XY 平台的线性位置、俯仰和扭摆误差。
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