RMAP多光路集成镜
使用雷尼绍多光路集成镜，可在高性能XY平台上实现高度精确且可重复的六自由度测量
RMAP多光路集成镜将多个干涉仪生成的光束尺寸最小化，在XY平台应用中实现六个自由度测量。它与1个RLU激光装置和3个RLD10-X3-DI干涉仪发射头配用，可以精确测量俯仰、扭摆和线性位置误差。
RMAP多光路集成镜的角度范围为±30角秒，与大多数性能优异的平台兼容，并且能够进一步优化平台性能。RMAP只有一个安装面，可简单快速地安装到真空室外壁或测量框架上。
使用RLD10-X3-DI干涉仪发射头进行角度测量时，可以抵消在两个光路的共有光程上由于激光频率或环境变化产生的误差。与从两个独立的光路计算得出的角度偏差相比，这种角度测量方式提高了测量精度和重复性。
特性与优势
光斑紧凑 – 减至18 mm x 35 mm，将靶镜的尺寸和重量最小化。
安装简便 – 使用4个螺栓直接安装到真空室外壁上。
性能优异 – 使用相互独立的RLD10-X3-DI干涉仪发射头，相比传统方法，提高了精度和重复性。
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