RLD10平面镜干涉仪
平面镜干涉仪适用于XY平台应用。
RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。
特性与优点
- 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。
- 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比，平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。
- 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值（即 < 2 W）的应用。
规格
| 轴行程 | 0 m至1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模拟正交 = λ/4 (158 nm) |
系统非线性误差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/s且信号强度 > 70%时 <±2.5 nm 1 m/s且信号强度 > 50%时 <±7.5 nm |
| 最高速度 | 可达1 m/s |
对于非真空应用，为了维持变动环境条件下的精度，需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时正交补偿系统，用于对环境变化进行补偿。
若选用RPI20并行接口并集成到RLE系统中，可达到38.6皮米的分辨率。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，并提供并行输出格式。有关附件的详细信息，请参见RCU10补偿系统和激光尺接口。
产品信息
其他相关产品
