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RLD10平面镜干涉仪

平面镜干涉仪适用于XY平台应用。

RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。

特性与优点

  • 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。
  • 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比,平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。
  • 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值(即 < 2 W)的应用。
RLD发射头和镜组

规格

轴行程0 m - 1 m
分辨率(使用RLU配置)

模拟正交 = λ/4 (158 nm)
数字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系统非线性误差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/sec且信号强度 > 70%时 <±2.5 nm
1 m/sec且信号强度 > 50%时 <±7.5 nm
最高速度可达1 m/sec


对于非真空应用,为了维持变动环境条件下的精度,需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时正交补偿系统,用于对环境变化进行补偿。

若选用RPI20并行接口并集成到RLE系统中,可达到38.6皮米的分辨率。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号,并提供并行输出格式。有关附件的详细信息,请参见RCU10补偿系统激光尺接口

产品信息