多自由度 (M-DoF) 光栅
多自由度 (M-DoF) 光栅系统可测量多达六个自由度 (6DoF)。了解雷尼绍独有的RXMA 1.5D栅尺所支持的多自由度 (M-DoF) 测量技术，如何为动态运动应用提供高性能的位置测量能力。
在动态运动应用场景中，实现精密控制
雷尼绍精心设计了真正的绝对式多自由度 (M-DoF) 光栅系统，配备一根或多根RXMA 1.5D栅尺，与久经验证的RESOLUTE™绝对式光栅读数头配套使用。这一组合无需增量式光栅系统常见的、耗时的回零循环过程，即可实现先进的多自由度 (M-DoF) 位置测量。RXMA绝对式栅尺采用低膨胀基体材料，具有出色的热稳定性。
为高性能应用而生
雷尼绍的绝对式多自由度 (M-DoF) 光栅系统非常适合用于高性能运动系统。半导体行业使用的高动态应用如XY平台等，对精度与重复性的要求极为苛刻，以满足质量与效率需求。通过测量每条轴上的多个自由度，机器制造商能够动态测量线性导轨直线度等各类误差来源。雷尼绍的多自由度 (M-DoF) 光栅可在运行过程中对由此产生的平移和旋转误差执行实时补偿，有助于保持制程能力并提升零部件良品率。
真正的X轴和Y轴测量
RXMA30栅尺带有两组正交的刻线图案，可在X、Y两个轴向实现直接位置测量。对主要线性自由度进行独立测量能够带来实质性的测量优势。例如，在Y轴方向的测量不会受到通常较长的X轴方向热膨胀的影响。
易于实现电气与机械集成
雷尼绍的多自由度 (M-DoF) 测量方案通过将彼此独立的各轴纳入同一测量体系，实现了与控制回路更为简便的集成。对X轴与Y轴进行直接测量，使信号处理更加便捷，并可兼容多种串行接口。
机器设计人员可根据具体应用需求灵活布置读数头位置，因为各个读数头彼此独立运行，互不干扰。同时，端部出线与侧出线的电缆配置方式可按需组合使用，有助于简化各轴的布线工作。
绝对式多自由度 (M-DoF) 光栅系统：读数头和栅尺
多自由度 (M-DoF) 光栅系统由至少一根1.5D栅尺和两个或更多读数头组成。绝对式读数头和栅尺组合的最大栅尺长度如下所示：
RESOLUTE™读数头 （30 µm栅距） 精准测量 高速 |
RXM 多自由度 (M-DoF) 栅尺 1.5D玻璃直线硬栅尺 低膨胀 高重复精度 X轴 = 350 mm Y轴 = 4 mm |
雷尼绍的完整多自由度 (M-DoF) 测量解决方案
雷尼绍作为您高性能运动系统的测量合作伙伴，能够凭借多元的技术，为您的特定应用需求提供精准支持。
雷尼绍提供多种多自由度 (M-DoF) 测量解决方案：激光干涉仪、光栅以及激光尺产品。
- XM‑60和XM‑600多光束激光干涉仪可帮助制造商测量六个自由度中的误差，从而建立高度精确的制程基础。
- 多自由度 (M-DoF) 绝对式光栅解决方案可确保卓越的位置测量与监测能力，从而维持机器的最佳运行性能。
- RMAP多光路集成镜将三个激光干涉仪发射头结合在一起，可用于测量高性能XY平台的线性位置、俯仰和扭摆误差。
立即联系我们的销售团队
欢迎联系雷尼绍分支机构获取更多信息，或者咨询我们的技术专家。