光栅术语表
查找光栅常用技术术语的定义。
ABBE误差
Abbe误差指的是旋转轴角度误差会因偏离轴的距离而放大。
绝对
绝对位置是一个自身完整并独立于任何其他位置或数值而定义的位置。绝对式光栅具有三大类型:真正绝对式、伪绝对式、电池供电绝对式。
真正的绝对式设计
开启后立即确定位置
无需备用电池
无需移动
伪绝对式
又称为“距离编码”。
光栅必须短距离移动以确定绝对位置
栅尺的参考零位按独特距离分开;当读数头移动经过两个相邻的参考零位时,控制器可根据这些参考零位之间的独特间隔计算出绝对位置。
电池供电绝对式
增量式光栅基本上都具有参考零位功能,此种类型的绝对式光栅使用电池以便为光栅持续供电并保持读数位置,从而确保即使在主机系统断电情况下绝对位置也不会丢失。
精度
测量位置与实际值的接近程度。
不要与分辨率或重复精度混淆。
注:精密度一词在非技术性英语中通常用来描述精确度。然而,在计量领域,精密度实际上表示重复精度。
ACI
ATOM的数字接口,细分系数可达2000。
AGC
自动增益控制。一种信号处理功能,可确保一致的1 Vpp信号幅值。
报警信号
在增量式光栅中,此为出现某些不良状况时发出的输出信号。各读数头的规格手册中列出了其适用的不同报警信号。
报警条件有:
- 低信号幅值(所有读数头均存在低信号幅值的错误)
- 高信号幅值
- 超速
- 过度利萨如圆偏心
报警可为线性驱动(单端或差分)或3状态(俗称三态)。
当RESOLUTE无法确定绝对位置时会输出一个报警。
模拟
一种持续可变的物理量。
当涉及到光栅时,“模拟”一词通常指由伺服驱动系统或控制器细分的1 Vpp或11 µA信号。
注:在美语中该词拼写为Analog(模拟)。在计算机行业,这通常是更广为使用的拼写。
角度测量
对角度进行测量。
可通过使用一个完整的栅尺(如圆环或码盘光栅)来完成测量。圆弧测量可通过将直线钢带栅尺卷绕圆柱体或轴进行。
角度分辨率
转换为角度单位时的光栅分辨率。
例如,一个200 mm圆环上的1 nm线性分辨率相当于0.0020625角秒。
角度分辨率的常用单位包括:
- 度
- 角秒
- 角分
- 微弧度
- 百分度(1百分度 = 一整圈的1/400 = 9/10度)
- 密位(1密位 = 一整圈的1/6400)
圆(角度)光栅
一种用于测量角度的光栅。
圆光栅一词用于描述测量角度的所有光栅。圆(角度)光栅被定义为精度优于+/- 5角秒且刻线数超过10000。圆光栅的规格不属于此类别。
AOC
自动偏置控制。一种信号处理功能,能够独立调整输出正弦和余弦信号偏置。
角秒
1角秒相当于1/3600度。
因此:
1度 = 60角分 = 3600角秒。
ATOM™增量式开放光栅
雷尼绍出品的微型增量式光栅系列,具备优异的抗污能力、信号稳定性和可靠性。ATOM是世界上第一款具有独特光学滤波系统及自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 功能的微型光栅(这些系统与功能同样可在TONiC™紧凑型光栅系列中找到),拥有优异的测量性能和一流的测量精度。
ATOM读数头的工作速度可达20 m/s,分辨率可达1 nm。栅尺选项包括各种不锈钢和玻璃材质的直线栅尺,以及RCDM玻璃码盘,直径范围从17 mm至108 mm,所有栅尺均可选择40 µm或20 µm栅距。
ATOM DX™增量式开放光栅
ATOM DX光栅系列是雷尼绍体积最小的微型增量式光栅,该光栅可直接从读数头输出数字信号,并在其微型封装内集成了全部位置反馈、板载细分和光学滤波功能。
该光栅可配用选装的高级诊断工具ADTi-100和ADT View软件,通过深入的高级诊断信息帮助优化光栅安装和现场查错,适用于要求极为严苛的运动控制应用。
ATOM DX光栅的分辨率达到2.5 nm,具有多种配置。
ATOM DX提供线缆型和顶部出线型两种型号,均可选择20 µm或40 µm栅距的栅尺。
方格 (BOX) 尺寸
方格 (Box) 尺寸有助于定义距离编码参考零位之间的间隔。
距离编码参考零位具有多种形式,但最常见的是方格法。该方法以固定距离放置周期参考零位(形成方格),其中第三个参考零位处于中间一个独特的距离处。
校准
1) 确定、检查或校正测量系统的精度。
在光栅术语中,这意味着将光栅报告的位置与激光、量规或其他已知的物件进行比较。
2) 设定TONiC或ATOM光栅中的增量信号水平和参考零位相位。
CENTRUM™
雷尼绍圆光栅不锈钢码盘,包括以下型号:
- CSF40:增量式、自定中心、安装简便快捷、兼容ATOM DX读数头。
时钟频率
这个词通常指接收电子装置(通常是驱动装置或控制器)的输入值上的时钟频率。
在每一个时钟周期,输入电子装置都会查找线接收器上是否出现状态变化。如果发生状态变化,则计数会相应递增或递减。
如果光栅的输出比输入电子装置上的时钟更快,则1个周期内会出现2次状态变化,这将造成正交解码器出现混淆。
注意,数字滤波器有时候也用于输入。这些滤波器可消除噪声故障,但也会降低接收电子装置的有效时钟频率。
时钟输出
所有TONiC和ATOM光栅以及RG2/RG4高分辨率型号都具有时钟数字输出。这意味着细分盒会检查利萨如图形,并更改数字输出的状态(必要时,每个时钟周期进行一次)。
有各种时钟频率可供选择,并且我们的规格手册提供了接收电子装置的时钟频率建议,其中包括电缆和线接收器中旋转的修正量。例如,一个20 MHz TONiC接口的内部时钟频率实际上约为16 MHz。
注意,这与重新定时完全不同。
时钟速度
这是时钟频率的另一个代名词。
元件级读数头
元件级读数头设计用于嵌入OEM产品中。与完全密封的传统读数头相比较,它们的元件和接口电路大大减少。元件级读数头通常要求客户进行更多的应用设计,如额外的屏蔽和细分通常在外部进行。
RGH34和RoLin都属于元件级读数头。
控制器
控制机器移动和操作的“大脑”。
有多种可用的控制器产品。许多控制器均具有多种用途,但有一些专用于执行特定任务:
例如,CNC控制器(计算机数控)经优化后专用于机床应用。许多控制器具有可改善机器性能的复杂算法。
模块化系统(如Delta Tau的UMAC)可根据客户的要求利用附件卡进行扩展。
“控制器”通常作为通用术语,有时错误用来描述伺服放大器(驱动装置)。
CTE
热膨胀系数
CTE表示当温度升高时材料按线性方向膨胀的程度。该数值通常以µm/m/°C或ppm/°K表示。
注意,这一方面的内容实际上比较复杂。例如,材料在不同的温度下具有不同的CTE数值,所以引用的数值通常在约20 °C的有限温度范围内指定。
周期误差
周期误差是细分误差的另一种说法。
基准
术语基准可指几种不同的概念:
- 参考零位
- CTE不同于基体的栅尺(如RTLC)被锁定在基体上的位置
- 栅尺或机器上的定义零位
- 校准标准
数字
仅有2种离散状态的信号或信息:高或低。
在光栅中,“数字”通常指数字光栅的输出。正如所有雷尼绍光栅规格手册中所描述,这些信号正交排列。
一些人认为数字信号比模拟信号抗噪能力更强,因为当信号被接收时所有对信号水平的干扰均会消除。其他人则认为模拟信号频率更低,因此更容易过滤。
注意,数字光栅的缺点是它们始终要在速度和分辨率之间取舍。
抗污能力
光栅在灰尘和污染物的影响下继续读取位置的能力。
抗污能力来源于2个方面:光学设计和自动增益控制电子装置。
雷尼绍增量式光栅采用了光学滤波系统,可调整为仅有1个周期,也就是栅尺刻划周期。灰尘和污染物的周期与该周期不同,因此会被光栅滤除。重要的是,利萨如信号不会因为污染物而偏移。
自动增益控制会以电子形式增强或减弱信号,确保利萨如尽可能保持一致。
距离编码
距离编码参考零位按特殊间隔沿着栅尺分布;当读数头移动经过两个相邻的参考零位时,控制器可根据这些参考零位之间的独特间隔计算出绝对位置。
电气集成
电气集成是指将光栅连接至接收电子装置。其中包括电源、接地/屏蔽和信号。
必须确保光栅的输出与接收电子装置的输入兼容。
错误的接地/屏蔽是导致光栅问题最常见的原因。0V和接地之间短路或过度噪声经常导致噪声问题、误算或遮盖参考零位。
必须确保电源的电流量足以为光栅供电。请勿忽视电缆电压降!
抗电噪声能力
产品在嘈杂的电气环境中持续工作的能力。
光栅可经受多种电气噪声类型:
- 电磁干扰可被诱发或耦合到电缆或读数头中
- 噪声通常出现在5V电源中
- 机器地线也会产生噪声
光栅精心设计的电路有助于消除这些噪声源的不利影响。
EMI环境
EMI = 电磁干扰
这是存在于光栅周围区域的干扰(噪声)。
EMI噪声通常由以下情况引起:
- 电机线缆中快速切换的电流
- 产生火花的不良连接
- 屏蔽较差的开关或接头
- 不良的接地连接或有故障的电源
- 机器附近进行的焊接、火花蚀刻或其他产生噪声的操作
封闭式光栅
雷尼绍的封闭式光栅将编码器的电子元器件和光学组件容纳在与读数头本体相连的密封装置内,并通过一个密封壳体进一步保护密封的光学系统与栅尺。这种设计能够增强抵御液体和固体碎屑污染的能力。
编码器
一般来说,编码器是将数据从一种形式转换为另一种形式的一种设备或过程。
在位置感应领域,编码器是一种测量位置并将测量信息以合适的形式传输到驱动装置或控制器的设备。
EVOLUTE™绝对式开放光栅
EVOLUTE系列是一款真正的绝对式非接触光栅,拥有50 µm的栅尺刻划周期,可提供极为宽松的安装公差和更加优异的抗污性能,适用于不仅对可靠性要求极高而且必须快速完成安装的应用场合。EVOLUTE光栅的分辨率可达50 nm,拥有先进的光学设计和高速信号处理功能,具有极低的电子细分误差 (SDE) 和抖动,其目标性能可满足最严苛的OEM应用需求。
FASTRACK™
FASTRACK是一种栅尺安装导轨系统,可与RTLC或RTLA栅尺结合使用。
与大多数导轨系统不同,FASTRACK由质地坚硬的不锈钢制成,因此其抵抗意外损坏的能力比软质的铝型材更强。FASTRACK安装也非常快捷简便。
导轨系统的优点有:
- 可在现场轻松更换栅尺
- 使栅尺能够根据自身的CTE进行膨胀/收缩,不受导轨或基体的影响
- 在大型机器进行拆分运输时,可将长栅尺暂时从机器上拆下
滤波
滤波是指抑制某些频率的信号、振动或辐射,以便能够感应到其他频率。
在位置编码器中,滤波通常具有以下用途:
- 光学滤波排除了栅尺信号周期外的频率
- 电子信号滤波帮助消除噪声和减少抖动
- 电源滤波帮助消除元件噪声,使系统运行更加顺畅可靠
散线
无终端、末端有裸线的线缆。这些裸线让客户能够轻松安装自己首选的连接器。
FORTiS™封闭式光栅
FORTiS封闭式光栅采用异常坚固的设计,可用于要求高精度反馈和测量的恶劣工业环境中。密封的光电读数头将相对于精细刻度不锈钢栅尺的位置移动转换为位置数据。FORTiS具有以下特性:
- 绝对式测量技术 — 精确、成熟、可靠
- 非接触式设计 — 滞后低、无机械磨损
- 优异的密封性 — 抵御液体和固体碎屑污染的能力更强
- 极强的抗振性 — 性能更高、使用寿命更长
- LED安装指示灯 — 安装快速、直观、一次成功
- 与高级诊断工具ADTa-100兼容,可用于优化安装和查错
FPC型
柔性印刷电路
一种扁形柔性电缆,采用零插入力的微型连接器。FPC电缆具有非常低的弯曲力,但其极限挠曲寿命通常大大低于标准电缆,因此,FPC电缆一般不建议用于动态应用。FPC电缆也提供屏蔽。
FPD
平板显示器
接地
将机器连接到地线的部署,也称为地线。
值得注意的是,接地是光栅电气集成的重要组成部分:接地不良(如0V和地线之间的短路或噪声)是导致光栅问题的常见原因。
滞后
滞后是引起响应的输入变化后响应时间的延迟。
光栅应用中的滞后例子有:
- 当栅尺通过导轨安装到基体上时,由于基体发生热循环,栅尺的不均匀热膨胀和安装系统中的摩擦将导致栅尺末端停止的位置稍有不同。
- 读数头内部的电气滞后意味着指定的位置将出现在正反方向稍微不同的地方。
- 反向时封闭式光栅会出现轻微停滞。也称作反向误差。
增量式
绝对位置是一个自身完整并独立于任何其他位置或数值而定义的位置。绝对式光栅具有三大类型:真正绝对式、伪绝对式、电池供电绝对式。
增量式光栅的输出信号只显示相对运动 — 轴的绝对位置只能由驱动装置或控制器确定,驱动装置或控制器将此相对位置与已知的参考位置(如来自参考零位的信号)相结合。
通电后,增量式光栅无法报告绝对位置 — 在计算绝对位置之前必须先读取参考零位。通过相应地增加或减少相对位置信息,可在两个方向对增量位置信号进行计数。
工业标准
工业标准是指整个行业中常见的一些规范。
例如,电压驱动模拟信号应为1 Vpp,这是已确立的工业标准。数字信号应符合RS422标准。
请注意,工业标准指的是规范,并没有定义质量。有可能两个光栅的信号强度均符合工业标准,但其中一个会明显优于另一个。
接口
一种处理信号或执行一些其他操作的电子设备。
串行通信协议(如BiSS® C或Siemens DRIVE-CLiQ®)常常被描述为接口,即两个部件之间的连接。
细分盒
一种将模拟信号转换成数字信号的设备。
在位置编码器中,细分盒常用于将增量式光栅的模拟正弦和余弦输出转换成同一个信号的数字表示。
市面上出售各种细分盒,可提供各种不同的细分质量和速度。
IN-TRAC™
IN-TRAC代表的是雷尼绍栅尺上的光学参考零位功能,可直接刻划在增量式刻线(刻度标记)上。
IN-TRAC参考零位比增量刻度旁边的参考零位抵抗扭摆引起的移相能力更强。
INVAR®
Invar是一种镍铁合金,CTE非常低,约为1.2 ppm/°C。
雷尼绍提供一种用名为ZeroMet™的合金制成的栅尺,该合金是Invar因钢的一种,具有非常高的稳定性。
IP等级
防护等级,也称为国际防护等级。它定义了电气罩壳的密封等级。
IP等级由两位数表示:第一个数字表示防尘等级,第二个表示防水等级。例如,IP64表示防尘等级为6,防水等级为4。
国际标准IEC 60529对IP等级进行了定义。
NEMA发布的防护等级与IEC标准相似,但编码系统不同,NEMA标准还包含了耐腐蚀性和垫圈老化。
抖动
光栅停止移动时的位置噪声输出量。
此数字通常用RMS表示,但测量位置噪声的方法有多种;测量的带宽尤其重要。
抖动较低的光栅能够更好地稳定位置且直线电机产生的热量更少。它们在低速时还可提供更加平稳的速度控制。
LED指示灯
发光二极管
LED指示灯
彩色LED指示灯,可指示信号水平、参考零位相位调整、CAL/AGC状态和各种其他光栅状态或诊断信号。
限位
指示读数头已到达行程末端的光栅输出。
单限位有一个信号,可显示读数头已到达轴的末端。驱动器或控制器无法区分到达的是行程的哪个末端。
双限位可根据到达的行程末端输出不同的信号;在雷尼绍光栅中,这些被称作“P”或“Q”行程末端。
直线
直线的形状或运动。
利萨如
显示正弦和余弦信号的一种方法,因此输出会以圆形展现。
当光栅输出以此种方式显示时,可能更容易确定光栅操作的多种特性,如信号水平和信号质量。
微米
一种长度单位。
1微米 = 0.001毫米 = 1000纳米
微米的符号是µm
MHz
兆赫,一种频率单位。
1 MHz = 1百万次循环/秒
纳米
一种长度单位
1纳米= 0.001微米= 1000皮米
1纳米大约是10个碳原子的长度。
节点
光栅读数头中的指示光栅的作用方式类似于物镜,节点是在读数头检测到的干涉条纹形成的位置 — 如果栅尺(或读数头)围绕此点旋转,则光电探测器上的条纹不会移动。
多数栅尺安装在弯曲或稍微不平整的表面上,这可能会导致测量误差。雷尼绍光栅(如ATOM)栅尺的表面上有一个节点,因此栅尺可以倾斜,不会产生此类波动误差。
在许多其他读数头类型中,栅尺可作为指示光栅,并且节点位于栅尺的表面上方。在这种情况中,任何栅尺波动都将使干涉条纹移动穿过光电探测器,导致错误的位置读数。
噪声
电路中一种不受欢迎的电子干扰,会降级信号中的有用信息。
命名规则
产品编码系统的构成。字面意思就是一个名称的结构。
非接触式
一种读数头和栅尺之间没有接触的光栅。一些公司也将其称为外露式。
开放式光栅
光栅是一种机电设备,可产生与线性运动轴的线性位移或输入轴的角度位置成正比的电子信号输出。
输出
光栅读数头在运行期间发射出的信号。
圆弧
雷尼绍RKL栅尺系列支持圆弧应用。这些栅尺拥有较小的横截面积,因而具有柔韧的特性,可以卷绕在半径低至26 mm的圆柱体、轴或圆弧上。
增量式和绝对式型号的RKL栅尺均具备此新功能。
PCB
印刷电路板
栅距
栅尺上相邻标记之间的距离。20微米的栅距通常具有10微米宽的深色条纹和10微米宽的浅色条纹。
有时指栅尺刻划周期。
精密度
参见重复精度。
QUANTiC™增量式开放光栅
QUANTiC光栅系统集成了雷尼绍的光学滤波系统设计与细分技术,是一款超小型、坚固耐用的增量式开放光栅。QUANTiC光栅使用简便,具有极宽松的安装和操作公差,而且自带校准功能。
QUANTiC读数头提供数字输出和全新的模拟输出型号,具有多种配置以及直线栅尺或圆光栅选项,速度最高可达24 m/s,可满足最严苛的运动控制应用要求。
在安装或现场诊断和查错时,QUANTiC可配合使用高级诊断工具ADTi‑100和ADT View软件,获取详细的诊断信息。
读数头
读数头可利用光学、磁性、感应或电容技术读取并解释栅尺的位置信息,并通过电子信号输出位置数据。
REE
雷尼绍的一种细分盒,可将1 Vpp模拟光栅信号当做一个输入并提供数字方波输出。
参考零位
一个沿轴的基准位置。
参考零位一词可用来描述:
- 物理参考零位磁励体,如参考零位磁体或IN-TRAC™光学特征。
- 参考零位从读数头/接口输出信号。
REL
雷尼绍的低膨胀、高精度栅尺系列。
这些栅尺均由ZeroMet制成,ZeroMet是一种低膨胀镍铁合金,一种稳定性较高的Invar因钢材料。
选项包括:
- RELM:参考零位位于中央的栅尺
- RELE:参考零位位于一端的栅尺
- RELA:具有绝对编码的栅尺
可靠性
光栅在长期使用过程中保持正常工作的能力。
可靠性的测量方式包括:
- MTTF:平均无故障时间
- MTTFd:平均无危险故障时间
- MTBF:故障前平均时间
可靠性也可用来表示光栅的抗污能力及其在工作寿命期间对非理想环境的抵抗能力。
重复精度
光栅在每次到达轴上某个点时报告相同位置的能力。
有时也称为复现性、分散或精密度。
复现性
参见重复精度。
RESOLUTE™绝对式开放光栅
雷尼绍一款真正的绝对式单码道开放光栅。
分辨率
光栅输出的最小测量值步幅:这是光栅按一个计数改变其输出必须移动的最小距离。
分辨率有时候会与精度和重复精度混淆。它可以小于光栅的噪声水平。
RGSZ
雷尼绍镀金栅尺。雷尼绍提供的一种镀金钢带栅尺,具有用户可选的IN-TRAC™光学参考零位。RGSZ成卷供货,用户可根据所需轴长度任意裁剪,最长可达50 m。可利用背面自带的不干胶进行安装,并保持与安装基体相同的热膨胀系数,从而简化了系统的热补偿。
不建议用于新设计。间隙
间隙是指栅尺和读数头底面之间的距离。
间隙公差是读数头可以接受的距离变化。
圆环光栅
一种环形圆光栅,栅尺通常标记在圆环的外表面上。雷尼绍的圆环光栅包括RESR、RESM、RESA、REXM和REXA。也提供圆环磁栅(磁旋转编码器)。
纹波
电源电压纹波是5V电源上的噪声水平。
速度纹波是当轴以一个恒定的速度移动时,轴速度变化的测量方式。
RKL
雷尼绍的一款细窄、轻薄、小巧的不锈钢钢带栅尺,包括以下型号:
- RKLC-S:钢带,增量式,IN-TRAC参考零位,自带不干胶带
滚摆
围绕纵轴旋转
旋转
一种圆周运动。
在光栅市场中,圆光栅用于测量旋转运动。
请注意,圆光栅是测量角度的所有光栅的通用术语。然而,圆光栅也用于描述低规格的旋转式光栅,而圆(角度)光栅用于描述高规格的旋转式光栅。
RSL
雷尼绍的高精度、不锈钢直线硬栅尺系列。该系列包含以下型号:
- RSLM:参考零位位于栅尺中央的不锈钢直线硬栅尺
- RSLE:参考零位位于栅尺一端的不锈钢直线硬栅尺
- RSLC:具有客户可选参考零位的不锈钢直线硬栅尺
- RSLR:无参考零位的不锈钢直线硬栅尺
- RSLA:绝对式编码的不锈钢直线硬栅尺
直线硬栅尺一词表示一种截面较厚的栅尺。
RTL
雷尼绍不锈钢钢带栅尺系列。该系列包含以下型号:
- RTLC:钢带,增量式,IN-TRAC™参考零位
- RTLC-S:钢带,增量式,IN-TRAC™参考零位,自带不干胶带
- RTLA:钢带,绝对式编码
- RTLA-S:钢带,绝对式编码,自带不干胶带
分散
参见重复精度。
SDE
SDE = 细分误差。在一个信号周期内的测量误差。
此误差机制源于光栅输出信号利萨如图形的形状或中心存在瑕疵。
SDE可能会引起直线电机或DDR电机轴上的速度纹波问题。较高的SDE可能会导致轴产生噪声,并产生热量。在机床应用中,较高的SDE可能导致表面光洁度差,在机器扫描应用中,会导致图像模糊不清。
TONiC和ATOM均采用了可降低SDE的电子处理装置。
防护等级
参见IP等级。
LED安装指示灯
一种安装在读数头(或光栅接口)上的发光二极管,用于指示当前的信号质量和光栅状态,如参考零位相位调整。该即时显示诊断信息功能不再需要其他安装指示设备或示波器。
大多数雷尼绍光栅通过多色LED安装指示灯来指示信号质量,分别以红色/橙色/绿色来表示信号质量较差/一般/良好。一些光栅型号还可以显示蓝色来表示信号最佳或非常强。
单码道
单码道指的是一种带有单条栅尺刻线的绝对式栅尺,可提供粗糙的绝对位置和微调增量式相位信息。
传统的绝对式光栅采用两条平行的刻度码道:增量式和绝对式。由于绝对式读数头必须同时读取这两个刻度,任意少量的扭摆准直偏差均会导致这两个读数失相,从而产生测量误差。
RESOLUTE是世界上首款绝对式开放光栅,可读取单码道栅尺,从而避免出现扭摆失相。
正弦波
当一种波形的幅度根据正弦函数发生变化时被称为正弦波。
屏蔽
屏蔽是指光栅抵御电磁干扰的能力。
屏蔽的一个重要应用是电缆 — 雷尼绍电缆通常采用双屏蔽,具备两层由镀锡铜丝编织制成的屏蔽,朝电缆芯线相反方向螺旋缠绕。外屏蔽相当于一个法拉第笼(静电屏蔽),并连接到两端地线。内屏蔽可用作天线,仅连接到接收电子装置的0V针脚上。
对于双屏蔽电缆,必须确保0V针脚和地线之间不会出现短路。
直线硬栅尺
一种截面较厚的栅尺。
例如,雷尼绍的RSLM和RELM均属于直线硬栅尺。
Ti
TONiC光栅系列的标准数字接口。
热膨胀
参见CTE。
TONiC™增量式开放光栅
雷尼绍紧凑型增量式光栅系列,具备高性能运动控制功能。该读数头采用动态信号调节功能,并且光学参考零位探测器可直接集成到增量式信号传感器中。TONiC具备卓越的信噪比特性和强大的抗污染能力。
UHV
超高真空。UHV通常指压力小于10-9 Torr的环境。
雷尼绍提供一些优化用于UHV环境的读数头。这些读数头由清洁材料制成,旨在最大限度降低脱气(真空室排空时释放出化学物质)。
速度纹波
在运动控制系统中,给定时间内要求的速度与实际速度之间的任何偏差称为速度纹波。造成速度纹波的因素包括光栅分辨率和细分误差。
VIONiC™增量式开放光栅
VIONiC系列是雷尼绍的超高精度、一体化数字增量式光栅,可配用一系列直线栅尺和圆光栅。VIONiC将雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术集成在读数头内,其电子细分误差 (SDE) 通常 < ±15 nm,分辨率可达2.5 nm。
VIONiC读数头采用直观的自动校准模式设计,易于安装。可选的高级诊断工具ADTi-100可在安装或现场诊断期间提供实时的光栅数据反馈。
VPP
峰-峰值电压。一种通过测量波形的最大正振幅到最小负振幅来测量波纹大小的方法。许多增量式光栅的模拟输出被定义为1 Vpp。
测量平均值-峰值的另一个标准,用于描述SDE。对于对称的波形(如正弦和余弦),平均值-峰值是峰-峰值的一半。
扭摆
绕垂直轴旋转。
ZEROMET™
一种Invar因钢(CTE较低的镍铁合金),因其稳定性极高而特别选用。雷尼绍提供由ZeroMet制成的低CTE栅尺。