RESOLUTE™绝对式UHV光栅的RGA(残余气体分析)结果
雷尼绍为各种RESOLUTE真空系统提供RGA(残余气体分析)数据。这些数据显示了光栅系统对真空环境产生的影响。
RGA结果
测试计划
使用一台四极杆质谱仪 (AccuQuad 200 RGA) 采集RGA(残余气体分析)数据。使用一台电离规 (G8130) 测量真空室压力。在对系统进行初始调节后,记录下测试真空室中的背景质谱和总压力。
组件放置在真空系统 (0.0035 m3) 内,然后使用KJL Lion 802 (800/s) 二极型离子泵和Divac隔膜泵在环境温度下对系统抽取真空,持续时间24小时,之后再次记录下测试真空室中的背景扫描结果和总压力。如果系统压力优于5 x 10-9 mbar,测试样品将在120 °C的温度下烘干48小时。随后令系统冷却到环境温度,再采集最终的质谱和总压力测量数据。最终的RGA扫描结果如下所示。
注:
很难实现对这些结果的精确复现,因为RGA数据取决于真空系统的状态、规格和性能。但是,残余气体分析测试的结果表明,RESOLUTE UHV并未向系统中带入严重污染,即在本产品存在的情况下可以实现超高真空条件。