增量式UHV圆光栅第2步。从下列增量式UHV（超高真空）圆光栅系列中选择：TONiC™TONiC超小型20 µm光栅系统TONiC UHV配用RESM20TONiC UHV（超高真空）超小型增量式20 µm读数头配用RESM20不锈钢圆环光栅和多种可选接口TONiC UHV配用REXM20TONiC UHV（超高真空）超小型增量式20 µm读数头配用REXM20超高精度不锈钢圆环光栅和多种可选接口 光栅系列增量式直线光栅增量式UHV直线光栅绝对式直线光栅绝对式UHV直线光栅增量式圆弧光栅绝对式圆弧光栅增量式圆光栅增量式UHV圆光栅绝对式圆光栅绝对式UHV圆光栅绝对式ETR圆光栅 位置编码器开放式光栅封闭式光栅激光尺磁编码器
