运动平台在真空环境中的应用：超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性
2021年2月
在工业界有不少制程需要在真空环境下进行，许多高精密产品在制造过程中也必需使用程度不一的真空技术；产品最后在大气环境下使用。
典型应用包括显示面板中薄膜和基板之间的精密贴合制程、半导体制程中的薄膜溅镀、晶圆检测等等。任何相关的零组件都必须满足真空环境的要求。
韩国运动平台制造商VAD Instrument（以下简称VAD）为了满足其精密制程设备对真空规格的严格要求，采用雷尼绍TONiC™系列超高真空 (UHV) 光栅系统，借此提升平台的整体精度和稳定性。
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案例分析： 运动平台在真空环境中的应用 超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性
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