运动平台在真空环境中的应用:超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性
2021年2月
在工业界有不少制程需要在真空环境下进行,许多高精密产品在制造过程中也必需使用程度不一的真空技术;产品最后在大气环境下使用。
典型应用包括显示面板中薄膜和基板之间的精密贴合制程、半导体制程中的薄膜溅镀、晶圆检测等等。任何相关的零组件都必须满足真空环境的要求。
韩国运动平台制造商VAD Instrument(以下简称VAD)为了满足其精密制程设备对真空规格的严格要求,采用雷尼绍TONiC™系列超高真空 (UHV) 光栅系统,借此提升平台的整体精度和稳定性。
下载
-
案例分析: 运动平台在真空环境中的应用 超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性 [2.8MB]
- 运动平台在真空环境中的应用 超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性 [527kB]
-
真空平台配置RLE激光尺系統 [2.7MB]
-
精密平台用于AOI设备 [1.5MB]
-
半导体真空平台 [1.8MB]
-
XL-80激光干涉仪检测精密直线平台 [501kB]
-
TONiC UHV光栅系统 [99kB]
欲获取更多有关雷尼绍及其产品的图片、视频、公司简介或信息,请访问我们的媒体中心。