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运动平台在真空环境中的应用:超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性

2021年2月

在工业界有不少制程需要在真空环境下进行,许多高精密产品在制造过程中也必需使用程度不一的真空技术;产品最后在大气环境下使用。

典型应用包括显示面板中薄膜和基板之间的精密贴合制程、半导体制程中的薄膜溅镀、晶圆检测等等。任何相关的零组件都必须满足真空环境的要求。

韩国运动平台制造商VAD Instrument(以下简称VAD)为了满足其精密制程设备对真空规格的严格要求,采用雷尼绍TONiC™系列超高真空 (UHV) 光栅系统,借此提升平台的整体精度和稳定性。

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