请观看我们最新的RESOLUTE™超高真空 (UHV) 光栅视频!
2012年9月10日
全球第一款适合超高真空环境的、真正的绝对式光栅 — RESOLUTE UHV,为线性和旋转应用提供1 nm分辨率和亚微米级精度。
RESOLUTE UHV是全球第一款真正的绝对式光栅,用洁净的真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低。RESOLUTE UHV适合于高性能要求且真空度须达到10-10Torr的半导体和科研应用场合。
该光栅的精度更高,运动控制更平稳,伺服环刚性更强,速度更是高达100 m/s! 机器测量效率和安全性可实现巨大飞跃。
RESOLUTE UHV使用多种串行协议,比如BiSS-C®、FANUC、Mitsubishi和Panasonic,因此可与行业标准控制器兼容。
RESOLUTE UHV符合RoHS标准。
本视频详细介绍了RESOLUTE UHV光栅在超真空应用中的诸多优点
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RESOLUTE™ UHV(超高真空) 真正的绝对式光栅 [30.3MB]
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RESOLUTE UHV图片 [28kB]
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