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激光尺应用

光纤激光尺 — 半导体

应用详情

众所周知,半导体工业一贯注重开发周期的快速迭代,注重更为快速地推出尺寸更小、运行更快且成本更为低廉的芯片。实现这些目标的其中一个要素便是实施高效制造过程以维持优异的产品质量。

半导体工业广泛应用激光尺系统来保证关键制造和检测过程的最高精度,从而达成这些目标。

应用优势

关键需求雷尼绍的解决方案
纳米级精度RLD10-X3-DI差分干涉仪发射头可在真空应用中直接测量柱体与平台之间的距离。
亚纳米级重复性雷尼绍的RLU20具有优异的激光稳频精度,可在真空应用中实现最高的重复性。
皮米级分辨率

雷尼绍的RPI20可实现高达38.6 pm的36位并行格式分辨率。

经验

激光尺或位移干涉仪系统在半导体工业中已使用多年。雷尼绍自2005年开始为半导体原始设备制造商 (OEM) 提供激光尺解决方案,在与设备制造商开展合作以及提供技术支持等方面具有丰富的经验。




RLD10差分干涉仪发射头,Raith应用

光纤激光尺 — 同步加速器

应用详情

同步加速器是一种特殊类型的粒子加速器,用于进行各种科学研究与实验。这些实验具有各自独特的挑战性,例如高精度运动控制系统、振动分析或漂移测量等。这些实验根据要求采用了激光尺或位移传感器。

应用优势

关键需求雷尼绍的解决方案
易于准直和安装雷尼绍的RLD配备激光准直辅助镜,与光纤激光装置配合使用可使系统易于安装和准直。
高更新速率RSU10 USB接口能够实现50 kHz的最大更新速率,可与雷尼绍标准软件包配合使用,也可通过使用免费的SDK提供定制的解决方案。
知识分享与合作了解并确定需要测量的内容通常是客户要面对的第一个挑战。雷尼绍在与客户开展合作并为其提供最佳解决方案方面具有公认的丰富经验。

经验

同步加速器广泛部署于全球各大顶尖实验室中,具有各种不同的尺寸。雷尼绍曾与其中的许多著名科研机构合作,共同开发切实可行的解决方案 — 这些方案的最终效果通常都超过预期。

RLE ISARA应用

光纤激光尺 — XY平台

应用详情

XY平台可用于从大批量生产制造到测试和研究设备等的各种应用中。XY平台通常会受到Abbe误差的影响,这些平台内部的角度误差可导致在平台顶端出现较大的位置误差。使用干涉测量激光尺系统对关注点进行测量,可消除这些误差源的影响。

应用优势

关键需求雷尼绍的解决方案
消除Abbe或平台误差雷尼绍的RLE系统配备精巧的发射头,可轻松安装在靠近平台的位置。这样可以确保轻松地对关注点直接进行测量。
远程热源激光源通常会产生大量的热量。利用雷尼绍的光纤传导系统,激光装置 (RLU) 可安装在距离工作区域3 m或6 m远的位置,从而防止工作区域局部过热。
集成与安装简便干涉仪系统通常难以集成和安装。雷尼绍通过开发包含紧凑型干涉仪和检测装置的光纤解决方案,将干涉测量激光尺具备的高测量性能与典型光栅安装具备的简便性相结合。

经验

雷尼绍在将干涉测量激光尺解决方案集成到各类应用方面具有20多年的丰富经验 — 从恶劣的数控机床车间环境到性能要求严苛的半导体工业等等。

这些经验来自我们与各原始设备制造商 (OEM) 和平台制造商的密切合作。通过协助制造商将干涉测量激光尺与其新一代产品结合,雷尼绍可帮助其不断保持技术领先地位。

XY平台上的RLE系统


图片由Aerotech提供。

长距离激光尺 — 航空航天

应用详情

航空航天工业的关注重点是确保满足大尺寸部件的严格公差要求;使用干涉测量激光尺解决方案可实现这一点。在通常用于加工翼梁或机身的大型数控机床中,机床轴的长度通常需要达到30 m或更长;雷尼绍的HS20系统与RCU10补偿器结合使用,能够在30 m机床轴上实现±30 µm的精度。


应用优势

关键需求雷尼绍的解决方案
恶劣环境中的长距离测量雷尼绍HS20激光头的测量距离长达60 m。HS20公认能够在最具挑战性的条件下可靠运行,在该领域内始终保持市场领先地位。
非接触式测量系统通过直接测量消除齿条齿轮或滚珠丝杠反馈系统中存在的误差,例如机械滞后、反向间隙、机械磨损和周期误差等。
工件和机床结构补偿RCU10补偿系统包含的集成模块旨在消除机床结构和工件的热膨胀和收缩影响,从而在较长的加工周期内保持精度。

经验

雷尼绍与世界各地的航空航天设备制造商和大型数控机床制造商合作,如今已为他们提供了大量的激光干涉仪系统。

这些干涉仪系统应用在各种机床中,这些机床或可加工飞机专用合金材料,或可加工现代飞机中使用的碳纤维复合材料。这些应用均对大型部件具有最严格的公差要求,而这一点通过使用雷尼绍的干涉测量激光尺系统可轻松实现。

HS20应用

长距离激光尺 — 坐标测量机

应用详情

坐标测量机 (CMM) 一般使用光栅,但越来越多要求高精度和高重复性能的大型坐标测量机已开始选择使用干涉测量激光尺。

坐标测量机通常采用龙门式设计,在大型坐标测量机中,龙门产生的扭摆误差可导致较大的位置偏差。然而,在龙门顶端使用干涉测量激光尺可消除扭摆误差。

应用优势

关键需求雷尼绍的解决方案
长距离测量雷尼绍的HS20激光尺能够进行长达60 m的长距离测量,RLE激光尺能够进行长度为4 m的测量。
关注点干涉测量激光尺系统的主要优势是能够对关注点轻松完成测量。
易于安装和准直雷尼绍干涉测量激光尺系统采用可见光源,当与来自激光源的0至1 V信号强度输出指示结合使用时,可轻松完成安装和准直过程。

经验

雷尼绍通过与大量原始设备制造商 (OEM) 的密切合作积累了丰富的经验,能够提供满足客户指定测量性能要求的配置。了解机器的测量方式与架构对开发正确的解决方案至关重要。

坐标测量机测量图片

长距离激光尺 — LCD

应用详情

随着LCD行业技术的发展,生产和检测这些产品的机器也在不断发展。更大的屏幕尺寸和更小的特征尺寸对机器中测量系统的性能提出了更高要求。激光尺提供的解决方案可满足这些要求。

应用优势

关键需求雷尼绍的解决方案
关注点适用于其固有Abbe误差影响机器精度的大型XY平台应用。雷尼绍的激光尺解决方案可对关注点直接测量。
类似行业的可靠技术雷尼绍激光尺解决方案已在半导体行业使用多年,其可靠性已得到验证,即使经过多年的持续使用,其性能仍可保持完好如初。
高性能测量干涉测量激光尺具有158或316 nm的模拟信号周期,经过细分后能够实现皮米级分辨率。

经验

雷尼绍利用其与原始设备制造商 (OEM) 和平台制造商合作积累的经验,可最大限度减少集成时间。凭借从这些不同应用中积累的经验和知识,雷尼绍能够快速确定最适合您的应用的干涉测量激光尺系统。

© Getty images:LCD检测