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XM-60和XM-600多光束激光干涉仪性能规格

0 m - 4 m

线性
测量精度±0.5 ppm(使用环境补偿)
分辨率1 nm

测量范围

0 m至4 m
線性量測圖標

角度(俯仰/扭摆)

精度±0.004A ±(0.5微弧度 + 0.11M微弧度)
(A = 显示的误差读数)
(M = 距离测量结果,单位:米)
分辨率0.03微弧度
测量范围±500微弧度
角度量測圖標
直线度
测量精度典型范围:±0.01A ±1 μm
扩展范围:±0.01A ±1.5 μm
(A = 显示的误差读数)
分辨率0.25 μm
测量范围典型范围:±50 µm(半径)
扩展范围:±250 µm(半径)
真直度量測圖標
滚摆
精度±0.01A ±6.3微弧度
(A = 显示的误差读数)
分辨率0.12微弧度
测量范围±500微弧度
側轉角量測圖標
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。

4 m - 6 m

  • 线性、角度和直线度测量的性能规格在4 m和6 m之间与在0 m和4 m之间相同。
  • 在4 m至6 m范围内进行滚摆测量的性能规格为:
滚摆
精度±0.01A ±10.0微弧度
(A = 滚摆误差(微弧度))
分辨率0.12微弧度
测量范围±500微弧度
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。当测量范围超过4 m时,需要在XM发射器和接收器之间进行准直。如果因准直欠佳导致接收到的激光信号强度低于4%,CARTO软件将通知用户优化准直。

6 m以上

  • 线性和角度测量的性能规格在6 m和8 m之间与在0 m和4 m之间相同。
  • 在6 m至8 m范围内进行直线度测量的性能规格尚待验证。
  • 在6 m至8 m范围内进行滚摆测量的性能规格尚待验证。
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。当测量范围超过4 m时,需要在XM发射器和接收器之间进行准直。如果因准直欠佳导致接收到的激光信号强度低于4%,CARTO软件将通知用户优化准直。