XM-60和XM-600多光束激光干涉仪的性能规格
0 m - 4 m
线性 | |
测量精度 | ±0.5 ppm(使用环境补偿) |
分辨率 | 1 nm |
测量范围 | 0 m至4 m |

角度(俯仰/扭摆) | |
精度 | ±0.004A ±(0.5微弧度 + 0.11M微弧度) (A = 显示的误差读数) (M = 距离测量结果,单位:米) |
分辨率 | 0.03微弧度 |
测量范围 | ±500微弧度 |

直线度 | |
测量精度 | 典型范围:±0.01A ±1 μm 扩展范围:±0.01A ±1.5 μm (A = 显示的误差读数) |
分辨率 | 0.25 μm |
测量范围 | 典型范围:±50 µm(半径) 扩展范围:±250 µm(半径) |

滚摆 | |
精度 | ±0.01A ±6.3微弧度 (A = 显示的误差读数) |
分辨率 | 0.12微弧度 |
测量范围 | ±500微弧度 |

精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。
4 m - 6 m
- 线性、角度和直线度测量的性能规格在4 m和6 m之间与在0 m和4 m之间相同。
- 在4 m至6 m范围内进行滚摆测量的性能规格为:
滚摆 | |
精度 | ±0.01A ±10.0微弧度 (A = 滚摆误差(微弧度)) |
分辨率 | 0.12微弧度 |
测量范围 | ±500微弧度 |
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。当测量范围超过4 m时,需要在XM发射器和接收器之间进行准直。如果因准直欠佳导致接收到的激光信号强度低于4%,CARTO软件将通知用户优化准直。
6 m以上
- 线性和角度测量的性能规格在6 m和8 m之间与在0 m和4 m之间相同。
- 在6 m至8 m范围内进行直线度测量的性能规格尚待验证。
- 在6 m至8 m范围内进行滚摆测量的性能规格尚待验证。
精度值指标为95%的统计置信度 (k=2)。精度值不包括将材料温度归一化为20 °C时与其有关的误差。当测量范围超过4 m时,需要在XM发射器和接收器之间进行准直。如果因准直欠佳导致接收到的激光信号强度低于4%,CARTO软件将通知用户优化准直。