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RLU — 带有光纤传导的轻型激光装置

雷尼绍的激光装置具有基于激光干涉原理的高性能测量能力,并且与传统的钢带光栅和玻璃光栅一样易于安装。

RLE系统是独创的先进零差激光干涉测量系统,特别为位置反馈应用而设计。每套RLE系统均包含一个RLU激光装置和一个或两个RLD10发射头,具体型号取决于特定应用的要求。

RLU激光装置有单轴或双轴两种配置可选,包括氦氖 (HeNe) 激光源、用于稳频的电子器件、光纤传导装置和轴位置反馈电子器件。

RLD发射头是光学测量系统的核心部件,内部集成了干涉仪光学镜组、独特的多通道条纹检测系统以及激光准直机构。雷尼绍提供三种包含光学镜的干涉仪配置(RLD10平面镜干涉仪、RLD10角锥反射镜干涉仪和RLD10差分干涉仪),以及一种无内置光学镜的RLD10干涉仪配置。

特性与优势

将RLU10或RLU20激光装置与适合应用需求的RLD发射头相结合,可获得:

  • 简单的系统结构 — 利用雷尼绍独创的光纤传导系统
  • 快速调节准直 — RLD发射头允许激光光束直接射向测量轴
  • 结构紧凑且设定轻松 — 系统占用空间极少,安装时间极短

借助雷尼绍激光尺,我们能够超越客户提出的标准,我们竭力为客户提供一流的体验;而我们之所以能够不断获得成功,部分归因于雷尼绍带来的技术进步。

Aerotech(美国)

RLU10激光装置

RLU10激光装置在任意一个小时内的激光稳频精度为±50 ppb,其性能水平适合大部分非真空环境应用。

RLU10概述

光纤长度3 m或6 m*
轴数单轴或双轴*
激光源2类氦氖 (HeNe) 激光
输出模拟 / 数字正交
速度最高达2 m/s**

* 出厂配置
** 取决于型号 / 分辨率

RLU10性能

激光稳频精度(1分钟)

‹±10 ppb

激光稳频精度(1小时)

‹±50 ppb

激光稳频精度(8小时)

‹±50 ppb

真空波长稳定性(超过3年)

±0.1 ppm

XY平台应用

正在寻找非真空环境下适合XY平台应用的激光尺?RLE10-DX-XG是此类应用的理想选择,它使用RLU10激光装置,并结合两个RLD10-A3-P9(RLD10平面镜干涉仪)。

RLU20激光装置

RLU20激光装置在任意一个小时内的激光稳频精度为±2 ppb,能够为大部分真空环境应用提供极高测量性能。

RLU20概述

光纤长度仅3 m*
轴数单轴或双轴*
激光源2类氦氖 (HeNe) 激光
输出模拟 / 数字
速度最高达2 m/s**
* 出厂配置
** 取决于型号 / 分辨率

RLU20性能

激光稳频精度(1分钟)‹±1 ppb
激光稳频精度(1小时)‹±2 ppb
激光稳频精度(8小时)‹±20 ppb
真空波长稳定性(超过3年)±0.1 ppm

相对测量应用

正在寻找真空环境下适合相对测量应用的激光尺?RLE20-DX-XP是此类应用的理想选择,它使用RLU20激光装置和两个RLD10-X3-DI差分干涉仪

配置RLE系统

要作为位移干涉仪进行操作,需要将雷尼绍的激光装置与合适的激光头连接。定义RLE系统时,应考虑以下选项:

  • 激光源(RLU10或RLU20)
  • 光纤长度3 m或6 m(仅限RLE10)
  • 校准证书(该选项有附加费用)
  • 平面光学镜组或角锥反射光学镜组
  • 用于各轴的RLD发射头类型
  • 各轴的光束输出方向(不适用于差分干涉仪发射头)

请使用我们的RLE订货号生成器,以选定适合您的具体应用的系统,并可据此申请报价或下达订单。

了解我们的干涉测量激光尺系列如何在直线位置反馈中实现优异测量精度。

常见问题解答

使用RLE系统时,其最高分辨率可达多少?

RLE系统与RPI30并行接口结合使用时,在速度为1 m/s时分辨率可达38.6皮米。

可以提供RLE系统的校准证书吗?

是的,可在订购新系统时进行指定。请注意,此项服务需要另外付费。

我应该使用平面镜还是角锥反射镜?

两者各有优势,应根据应用类型进行选择。平面镜更适用于XY平台应用。角锥反射镜比平面镜更适合应对角度旋转,一般用于线性轴。

雷尼绍建议RLE系统与何种镜组结合使用?

雷尼绍提供多种适用于不同应用需求的光学镜组和组件。我们的平面镜和平面镜安装底座规格手册中包含了获取定制镜组所需的信息。

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