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REE细分盒

REE系列细分盒为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案。

REE系列细分盒使数字正交输出信号的分辨率提高了至少20倍。

REE的三个模式,设计初衷是用于雷尼绍的钢带光栅系列,目前经过验证也可用于RLE。

特性与优点

  • 安装方便 — 设定与配置简单快捷。
  • 自动控制程序 — 自动控制程序可监控偏置、增益和平衡,从而维持信号的一致性。
  • 高分辨率正交信号 — 亚纳米级分辨率数字正交信号。

平面镜系统性能

REE模式REE订货号分辨率 (nm)最高速度 (mm/s)
REE100REE0100A20B1.58217.7
REE200REE0200A20B0.7918.8
REE400REE0400A20B0.3954.4

角锥反射镜系统性能

REE模式REE订货号分辨率 (nm)最高速度 (mm/s)
REE100REE0100A20B3.16435.4
REE200REE0200A20B1.58217.7
REE400REE0400A20B0.7918.8

给定的系统最高速度包括25%的安全余量。速度值基于75%的信号强度。

产品信息

请注意,上面引用的REE规格手册是由雷尼绍的光栅部编制的,因此不包含其与RLE系统配合使用的规格数据。但是,手册包含操作和电气规格数据以及尺寸信息。