REE细分盒
REE系列细分盒为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案。
REE系列细分盒使数字正交输出信号的分辨率提高了至少20倍。
REE的三个模式,设计初衷是用于雷尼绍的钢带光栅系列,目前经过验证也可用于RLE。
特性与优点
- 安装方便 — 设定与配置简单快捷。
- 自动控制程序 — 自动控制程序可监控偏置、增益和平衡,从而维持信号的一致性。
- 高分辨率正交信号 — 亚纳米级分辨率数字正交信号。
平面镜系统性能
REE模式 | REE订货号 | 分辨率 (nm) | 最高速度 (mm/s) |
REE100 | REE0100A20B | 1.582 | 17.7 |
REE200 | REE0200A20B | 0.791 | 8.8 |
REE400 | REE0400A20B | 0.395 | 4.4 |
角锥反射镜系统性能
REE模式 | REE订货号 | 分辨率 (nm) | 最高速度 (mm/s) |
REE100 | REE0100A20B | 3.164 | 35.4 |
REE200 | REE0200A20B | 1.582 | 17.7 |
REE400 | REE0400A20B | 0.791 | 8.8 |
给定的系统最高速度包括25%的安全余量。速度值基于75%的信号强度。
产品信息
请注意,上面引用的REE规格手册是由雷尼绍的光栅部编制的,因此不包含其与RLE系统配合使用的规格数据。但是,手册包含操作和电气规格数据以及尺寸信息。